微觀世界的成像技術(shù)是研究材料結(jié)構(gòu)和特性的最直接和最有效的方法,其技術(shù)的創(chuàng)新發(fā)展與物理學(xué)、化學(xué)、生物技術(shù)和其他領(lǐng)域的發(fā)展密切相關(guān)。近年來,隨著集成電路和納米科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展,需要發(fā)明更先進(jìn)的檢測儀器來檢測微觀結(jié)構(gòu)材料的成膜質(zhì)量、電磁參數(shù)分布等重要屬性。另外,在基礎(chǔ)生物學(xué)研究領(lǐng)域,必須通過高分辨率生物學(xué)成像方法獲得有關(guān)生物系統(tǒng)動(dòng)態(tài)變化的信息,以便準(zhǔn)確了解生物體的內(nèi)部機(jī)制。與遠(yuǎn)場顯微術(shù)對比,近場顯微術(shù)突破了阿貝衍射極限,可以分辨尺寸小于二分之一波長以下的物質(zhì),分辨率大大提高。另外微波具有穿透性,能夠檢測物體表面及更深層次的信息。因此近場掃描微波顯微鏡系統(tǒng)倍受工業(yè)界的重視,隨著該系統(tǒng)的研究突破與發(fā)展,它在半導(dǎo)體集成技術(shù)、生命科學(xué)領(lǐng)域的成像應(yīng)用得到認(rèn)可。但是該系統(tǒng)的成像策略存在一些缺點(diǎn),最大的問題是由于樣品臺或樣品本身微弱且無法分辨的傾斜,給全局掃描參數(shù)帶來傾斜誤差,導(dǎo)致其成像的圖像因水平傾斜一定的角度而失真;另外系統(tǒng)裝置的機(jī)械噪聲引起信號的噪聲,導(dǎo)致成像圖像存在噪點(diǎn)。因此,隨著掃描近場微波顯微鏡往更高分辨率領(lǐng)域發(fā)展,迫切需要提出一些修正方法來解決其成像失真的問題。本文在近場掃描微波顯微鏡系統(tǒng)...

【文章頁數(shù)】：86 頁

【學(xué)位級別】：碩士

本文編號：3878220