航空發(fā)動(dòng)機(jī)熱端部件(如渦輪葉片)的表面的溫度及其分布對(duì)部件本身的機(jī)械性能及耐用性有著極其重要的影響。實(shí)時(shí)、精確測(cè)量其表面溫度對(duì)航空發(fā)動(dòng)機(jī)的設(shè)計(jì)制造以及功能驗(yàn)證至關(guān)重要。傳統(tǒng)測(cè)量方法存在破壞部件的機(jī)械結(jié)構(gòu)、響應(yīng)速度慢、干擾流場(chǎng)等缺點(diǎn),而薄膜熱電偶是通過(guò)薄膜沉積技術(shù)在被測(cè)件表面直接制備,與被測(cè)件一體化集成,從而具有體積小、對(duì)測(cè)量件表面環(huán)境影響極小、熱容量小響應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)。電極材料由Pt Rh以及Pt組成的貴金屬薄膜熱電偶(如S型和R型薄膜熱電偶)有著穩(wěn)定的熱電性能并且測(cè)溫范圍廣,非常適合用來(lái)測(cè)量渦輪葉片等工作于高溫段的熱端部件的表面溫度。本文針對(duì)以上應(yīng)用情形,并在前期工作的基礎(chǔ)上,對(duì)以S型和R型為主要研究對(duì)象的貴金屬薄膜熱電偶的制備、抗氧化性能以及熱電性能進(jìn)行深入研究。首先,在Al₂O₃陶瓷基底上采用磁控濺射的方法制備Pt-10%Rh薄膜和Pt-13%Rh薄膜,然后對(duì)其進(jìn)行大氣退火處理,研究PtRh薄膜表面形貌、結(jié)晶特點(diǎn)、抗氧化性能以及電學(xué)性能在高溫氧化環(huán)境條件下的變化情況。通過(guò)對(duì)同一個(gè)氧化鋁陶瓷襯底表面沉積的S型及R型薄膜型熱電偶進(jìn)行靜態(tài)標(biāo)定...

【文章頁(yè)數(shù)】：71 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
abstract
第一章 緒論
    1.1 研究工作的背景與意義
    1.2 國(guó)內(nèi)外研究歷史和發(fā)展現(xiàn)狀
    1.3 本文的選題依據(jù)
    1.4 本論文的研究?jī)?nèi)容
第二章S型與R型貴金屬薄膜熱電偶抗氧化性能研究
    2.1 薄膜的制備及表征方法
        2.1.1 薄膜的制備方法
        2.1.2 薄膜的表征方法
    2.2 薄膜熱電偶的標(biāo)定
        2.2.1 熱電效應(yīng)
        2.2.2 熱電偶基本定律
        2.2.3 薄膜熱電偶的標(biāo)定方法
        2.2.4 標(biāo)定系統(tǒng)
    2.3 S型與R型貴金屬薄膜熱電偶抗氧化性能研究
        2.3.1 Al₂O₃陶瓷基片上S型與R型薄膜熱電偶的制備
        2.3.2 S型與R型薄膜熱電偶的抗氧化性能研究
    2.4 本章小結(jié)
第三章 陶瓷基底上貴金屬薄膜熱電偶的制備及性能研究
    3.1 功能層膜厚對(duì)S型貴金屬薄膜熱電偶抗氧化性能及熱電性能的影響
        3.1.1 Al₂O₃陶瓷基底上S型貴金屬薄膜熱電偶的制備
        3.1.2 功能層膜厚對(duì)熱電偶抗氧化性能及熱電性能的影響
    3.2 保護(hù)層膜厚對(duì)R型貴金屬薄膜熱電偶抗氧化性能及熱電性能的影響
        3.2.1 Al₂O₃陶瓷基底上R型貴金屬薄膜熱電偶的制備
        3.2.2 保護(hù)層膜厚對(duì)熱電偶抗氧化性能及熱電性能的影響
    3.3 本章小結(jié)
第四章 鎳基高溫合金上R型貴金屬薄膜熱電偶的制備及性能研究
    4.1 鎳基高溫合金上R型貴金屬薄膜熱電偶的制備
        4.1.1 鎳基高溫合金上R型貴金屬薄膜熱電偶的制備工藝
        4.1.2 合金襯底上膜熱電偶絕緣性能及熱電性能的標(biāo)定
    4.2 Al₂O₃絕緣層膜厚對(duì)薄膜熱電偶絕緣性能及熱電性能的影響
    4.3 本章小結(jié)
第五章 全文總結(jié)與展望
    5.1 全文總結(jié)
    5.2 后續(xù)工作展望
致謝
參考文獻(xiàn)
攻讀碩士學(xué)位期間取得的成果



本文編號(hào)：3875752