發(fā)布時(shí)間：2023-11-11 16:41

　　激光干涉位移測(cè)量技術(shù)是目前位移測(cè)量領(lǐng)域的主流技術(shù)。其具有分辨率高、測(cè)量速度快、溯源好的特點(diǎn)。利用激光干涉位移測(cè)量技術(shù),可以實(shí)現(xiàn)工作臺(tái)的高精度測(cè)量。首先介紹了目前主要的激光干涉位移測(cè)量技術(shù),并對(duì)干涉儀的特點(diǎn)進(jìn)行了分析,最后介紹了激光干涉位移測(cè)量在XY工作臺(tái)定位精度、垂直度測(cè)量的應(yīng)用。

【文章頁數(shù)】：5 頁

【文章目錄】：
1 激光干涉儀的原理
    1.1 單頻激光干涉儀
    1.2 雙頻激光干涉儀
2 SJ6000激光干涉儀在XY工作臺(tái)性能指標(biāo)測(cè)量中的應(yīng)用
    2.1 XY工作臺(tái)位移精度測(cè)量
    2.2 XY工作臺(tái)垂直度測(cè)量
        2.2.1 XY工作臺(tái)垂直度測(cè)量原理
        2.2.2 測(cè)量步驟
        2.2.3 垂直度測(cè)量所用組件
        2.2.4 垂直度測(cè)量應(yīng)用
3 影響測(cè)量精度的因素
    3.1 環(huán)境誤差
    3.2 空氣波動(dòng)和機(jī)器振動(dòng)
    3.3 斜率誤差
    3.4 光學(xué)反射鏡的誤差
    3.5 光學(xué)器件的清潔
4 結(jié)束語



本文編號(hào)：3862926