本文研究了用于掃描離子電導顯微鏡(SICM)中的壓電陶瓷微動平臺的高精度定位問題�；趬弘娞沾赡婺Ｐ瓦M行前饋補償?shù)乃枷?在實驗平臺上進行了基于逆模型的前饋控制、基于PID的反饋控制與基于遲滯逆模型補償PID反饋的復合控制的對比實驗。實驗結果表明,采用基于遲滯逆模型的復合控制,當壓電陶瓷微動平臺微位移范圍為0-80μm時,最大跟隨誤差為1.003μm,且最大非線性度為1.25%,該控制方法對提高壓電陶瓷微動平臺定位精度具有有效性。

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本文編號：3816120