為了解決真空計量檢測對標準氣體流量的需求,設計出(10^-1～10^-10)Pa·m³/s的標準氣體流量計。裝置主要由定容法流量模塊、流導法流量模塊、供氣與抽氣模塊、保溫模塊、控制模塊組成,通過定容法和流量法提供標準氣體流量。采用容積約為5和0.1 L的真空室作為定容室,同時為流導元件入口提供一定壓力的氣體;僅用兩臺電容薄膜真空計作為參考標準測量真空室氣體壓力,通過PLC觸摸屏或計算機進行測量數(shù)據(jù)采集及運行控制;采用激光在鉑金片上打孔并進行真空鍍膜的工藝獲得10^-10 m³/s流導元件。設計的裝置外形尺寸不超過500 mm×400 mm×500 mm,主體重量小于35 kg,提供的流量范圍為(10^-1～10^-10) Pa·m³/s,具有成本低、操作方便、便攜等優(yōu)點。

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【文章目錄】：
1 標準氣體流量計設計[6-7,15-16]
    1.1 定容法流量模塊
    1.2 流導法流量模塊[7,15]
    1.3 供氣與抽氣模塊[11-17]
    1.4 保溫模塊[15-20]
    1.5 控制模塊
2 結(jié)論



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