三坐標位移臺裝配測試方法研究
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【摘要】:三坐標位移平臺已經(jīng)被廣泛的應(yīng)用在航天、醫(yī)療、工業(yè)生產(chǎn)和測試等領(lǐng)域中,其定位精度的高低對航天控制、生產(chǎn)和測試精度都有很大的影響,所以對三坐標位移臺的定位精度提出了越來越高的要求,如何進一步提高位移臺的定位精度成為了國內(nèi)外專家和學(xué)者研究的重點。 本文中研究的三坐標位移臺為開環(huán)位移臺,使用手動旋轉(zhuǎn)螺紋副的方式控制位移臺的移動,既不具備閉環(huán)控制系統(tǒng),也不含有電機控制系統(tǒng),主要是通過提高機械部件的加工和裝配精度、提高光柵尺和電氣檢測系統(tǒng)的測量精度來提高該類位移臺的定位精度。 文中介紹了導(dǎo)軌、光柵尺、細分盒以及其他主要電子器件的分析和選擇,設(shè)計了檢測三坐標位移臺空間位移量的電氣系統(tǒng),并制作了電氣系統(tǒng)操作面板,完成了電氣系統(tǒng)硬件和軟件的調(diào)試,實現(xiàn)了三坐標位移臺空間位移量的檢測與顯示、位移值顯示清零、環(huán)境溫度的檢測與顯示、各軸行程中點提示、設(shè)備故障和溫度超限報警以及暫停報警等功能。 設(shè)計了三坐標位移臺各個裝配環(huán)節(jié)的高精度測試方法,基于自準直儀完成了機械部件加工和裝配的平面度、平行度、直線度和垂直度的測量與評價,完成了導(dǎo)軌安裝的平行度、直線度以及垂直度的測量與評價,分析了環(huán)境溫度變化、光柵刻線加工誤差以及光柵尺安裝位置誤差對其測量精度的影響,減小光柵尺測量誤差帶來的影響,保證了各個環(huán)節(jié)的裝配精度達到設(shè)計要求,從而實現(xiàn)位移臺整體精度達到設(shè)計要求。 裝配完成后,基于九線法和雙頻激光干涉儀對位移臺的幾何誤差進行測量和辨識,根據(jù)幾何誤差辨識結(jié)果,對位移臺裝配進行精細的調(diào)整,進一步提高位移臺的整體精度。經(jīng)過最終的檢定和測試,位移臺達到X和Y軸行程±10mm、Z軸行程80mm、定位精度1μm的設(shè)計要求。
【關(guān)鍵詞】:三坐標位移臺 裝配測試 位移檢測 光柵尺
【學(xué)位授予單位】:哈爾濱工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2013
【分類號】:TH721
【目錄】:
- 摘要4-5
- Abstract5-10
- 第1章 緒論10-16
- 1.1 課題的來源和研究意義10-11
- 1.1.1 課題的來源10
- 1.1.2 課題的研究意義10-11
- 1.2 國內(nèi)外研究現(xiàn)狀11-14
- 1.2.1 定位工作臺技術(shù)的研究現(xiàn)狀11-12
- 1.2.2 平面度測量技術(shù)的研究現(xiàn)狀12-13
- 1.2.3 直線度測量技術(shù)的研究現(xiàn)狀13-14
- 1.3 幾何誤差參數(shù)辨識方法概述14-15
- 1.4 本文主要研究內(nèi)容15-16
- 第2章 三坐標位移臺總體方案設(shè)計16-26
- 2.1 引言16
- 2.2 三坐標位移臺的設(shè)計要求16
- 2.3 機械結(jié)構(gòu)設(shè)計16-17
- 2.4 電氣系統(tǒng)功能設(shè)計17-19
- 2.5 電氣系統(tǒng)整體方案設(shè)計19-20
- 2.6 位移臺主要部件的選型及分析20-25
- 2.6.1 導(dǎo)軌的選型20-22
- 2.6.2 光柵尺的選型22-23
- 2.6.3 細分盒的選型23-25
- 2.6.4 主要電子芯片的選型25
- 2.7 本章小結(jié)25-26
- 第3章 電氣系統(tǒng)硬件電路設(shè)計26-37
- 3.1 引言26
- 3.2 硬件電路整體方案設(shè)計26-27
- 3.3 操作面板模塊電路設(shè)計27-29
- 3.4 數(shù)值顯示和按鍵調(diào)理模塊電路設(shè)計29-31
- 3.4.1 數(shù)碼管及其驅(qū)動電路29-30
- 3.4.2 按鍵調(diào)理電路30-31
- 3.5 信號處理模塊電路設(shè)計31-36
- 3.5.1 辨向電路31-32
- 3.5.2 光電隔離電路32-34
- 3.5.3 MCU 處理單元34
- 3.5.4 蜂鳴器驅(qū)動電路34-35
- 3.5.5 溫度傳感器電路35-36
- 3.6 本章小結(jié)36-37
- 第4章 電氣系統(tǒng)軟件設(shè)計37-51
- 4.1 引言37
- 4.2 水平方向運動位移檢測和處理程序設(shè)計37-44
- 4.2.1 主程序設(shè)計37-41
- 4.2.2 按鍵識別和處理程序41-42
- 4.2.3 零點脈沖處理程序42-43
- 4.2.4 脈沖計數(shù)溢出中斷服務(wù)程序43-44
- 4.3 垂直方向運動位移和溫度檢測處理程序設(shè)計44-50
- 4.3.1 主程序設(shè)計44-47
- 4.3.2 按鍵識別和處理程序47-49
- 4.3.3 零點脈沖處理程序49
- 4.3.4 脈沖計數(shù)溢出中斷服務(wù)程序49-50
- 4.4 本章小結(jié)50-51
- 第5章 機械部件加工裝配精度的測試51-78
- 5.1 引言51
- 5.2 平面的加工和檢測51-63
- 5.2.1 平面的分類和技術(shù)要求51
- 5.2.2 平面的加工方法51-53
- 5.2.3 自準直儀法平面度測量53-54
- 5.2.4 平板平面的平面度和平行度測量54-59
- 5.2.5 垂直平面的直線度和垂直度測量59-63
- 5.3 導(dǎo)軌的安裝測試63-68
- 5.3.1 導(dǎo)軌的平行度測量63-64
- 5.3.2 水平安裝導(dǎo)軌的直線度測量64-66
- 5.3.3 垂直安裝導(dǎo)軌的直線度測量66-67
- 5.3.4 垂直安裝導(dǎo)軌的垂直度測量67-68
- 5.4 光柵尺測量精度影響分析68-70
- 5.4.1 溫度變換對光柵尺測量精度的影響68
- 5.4.2 光柵尺刻線誤差對測量精度的影響68-69
- 5.4.3 光柵尺安裝誤差對測量精度的影響69-70
- 5.5 位移臺幾何誤差參數(shù)的辨識70-73
- 5.5.1 幾何誤差源分析70-71
- 5.5.2 幾何誤差的辨識71-73
- 5.6 三坐標位移臺的測試73-77
- 5.7 本章小結(jié)77-78
- 結(jié)論78-79
- 參考文獻79-83
- 致謝83
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