針對某大型空間紅外相機裝調過程中某反射鏡調整墊需具有微小角度的需求,提出一套采用光學加工技術進行加工和檢測的方法。增加6塊反射鏡參與加工和檢測,分別檢測被加工零件的4個特征點高度、零件受加工面的初始角度和零件背面。使用干涉儀對6塊反射鏡進行檢驗,獲得的干涉條紋可計算出零件受加工面與初始面的夾角,推算出零件高點與低點的高度差,指導進一步加工的加工量和加工角度。通過零件受加工面與反映零件背面反射鏡面之間干涉條紋的差別,計算二者所成角度的數(shù)值。在80 mm寬的調整墊上,加工所得頂面與底面最終形成0.21″的夾角,調整墊上邊緣和下邊緣高度差為0.100λ(λ為可見光波長,λ=632.8 nm),即63.28 nm,處于誤差范圍內。將調整墊裝入系統(tǒng),經(jīng)過力學試驗和熱光學試驗,仍滿足設計要求。結果表明:對于尺寸不大的機械零件,采用光學加工方法獲得所需微小角度的平面是可行的;使用干涉儀對輔助反射鏡表面進行干涉檢測,并推算零件表面的加工量是能夠指導加工進行的;通過輔助反射鏡的干涉圖計算被加工零件的表面高度差能夠滿足光學系統(tǒng)裝調的需要。

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【文章目錄】：
0 引言
1 對具有微小角度零件的需求
2 零件尺寸誤差分析
3 材料與方法選擇
4 加工工裝設計
5 加工和檢測結果
6 結論



本文編號：3751266