針對米級大口徑非球面,從平面波Offner零位補償器檢驗光路的三級像差理論公式出發(fā),推導(dǎo)計算了補償器與被檢鏡面口徑比不同時的光學(xué)規(guī)化參數(shù),經(jīng)過光學(xué)軟件仿真,獲取不同口徑比下6種曲率半徑非球面的最大口徑和最大相對孔徑。結(jié)果表明隨著口徑比的減小,平面波補償檢驗非球面的相對孔徑能力隨之減弱,對于不同相對孔徑的非球面檢驗,可選擇最小口徑比來達到檢測要求。針對口徑為720mm的凹非球面鏡檢驗,基于工程可行性,采用口徑比α₁=0.2的Offner補償器,獲得方均根（RMS）為0.0033λ的設(shè)計,實際檢驗測量中RMS為0.019λ,符合對該非球面的檢驗要求。 

【文章頁數(shù)】：7 頁

【文章目錄】：
1 引言
2 Offner補償器初始光路規(guī)化算法
3 平面波Offner補償光路的光學(xué)設(shè)計
    3.1 口徑比為0.2時平面波Offner補償光路的規(guī)化求解和光學(xué)設(shè)計
    3.2 不同口徑比時平面波Offner補償光路的光學(xué)設(shè)計
4 平面波補償光路檢驗非球面實驗
5 結(jié)論


【參考文獻】：
期刊論文
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碩士論文
[1]大相對孔徑無焦非球面系統(tǒng)檢測方法研究[D]. 伍凡.電子科技大學(xué) 2003



本文編號：3715348