針對米級大口徑非球面,從平面波Offner零位補(bǔ)償器檢驗(yàn)光路的三級像差理論公式出發(fā),推導(dǎo)計(jì)算了補(bǔ)償器與被檢鏡面口徑比不同時的光學(xué)規(guī)化參數(shù),經(jīng)過光學(xué)軟件仿真,獲取不同口徑比下6種曲率半徑非球面的最大口徑和最大相對孔徑。結(jié)果表明隨著口徑比的減小,平面波補(bǔ)償檢驗(yàn)非球面的相對孔徑能力隨之減弱,對于不同相對孔徑的非球面檢驗(yàn),可選擇最小口徑比來達(dá)到檢測要求。針對口徑為720mm的凹非球面鏡檢驗(yàn),基于工程可行性,采用口徑比α₁=0.2的Offner補(bǔ)償器,獲得方均根（RMS）為0.0033λ的設(shè)計(jì),實(shí)際檢驗(yàn)測量中RMS為0.019λ,符合對該非球面的檢驗(yàn)要求。 

【文章頁數(shù)】：7 頁

【文章目錄】：
1 引言
2 Offner補(bǔ)償器初始光路規(guī)化算法
3 平面波Offner補(bǔ)償光路的光學(xué)設(shè)計(jì)
    3.1 口徑比為0.2時平面波Offner補(bǔ)償光路的規(guī)化求解和光學(xué)設(shè)計(jì)
    3.2 不同口徑比時平面波Offner補(bǔ)償光路的光學(xué)設(shè)計(jì)
4 平面波補(bǔ)償光路檢驗(yàn)非球面實(shí)驗(yàn)
5 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]折反射式零位補(bǔ)償檢驗(yàn)(續(xù))[J]. 張瓏,胡文琦,鄭列華,郝沛明.  光子學(xué)報(bào). 2016(12)
[2]干涉零位補(bǔ)償檢驗(yàn)研究[J]. 姚勁剛,張金平,鄭列華,郝沛明.  光學(xué)學(xué)報(bào). 2015(06)
[3]非球面光學(xué)零件的應(yīng)用[J]. 李池娟,孫昌鋒,席喆,楊曉慶.  激光與紅外. 2013(03)
[4]Offner補(bǔ)償器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與裝調(diào)[J]. 陳旭,劉偉奇,康玉思,馮睿,魏仲倫,柳華,苗二龍.  光學(xué)精密工程. 2010(01)
[5]反射鏡補(bǔ)償檢驗(yàn)[J]. 郝沛明,付聯(lián)效,袁立銀,李韋韋.  光學(xué)學(xué)報(bào). 2006(06)
[6]φ2.16米非球面主鏡的二維哈特曼檢驗(yàn)[J]. 高必烈,李德培,潘君驊.  光學(xué)學(xué)報(bào). 1985(10)

碩士論文
[1]大相對孔徑無焦非球面系統(tǒng)檢測方法研究[D]. 伍凡.電子科技大學(xué) 2003



本文編號：3715348