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聲學掃描顯微鏡在塑封器件失效分析中的應用

發(fā)布時間:2022-11-04 00:40
  為了適應高可靠性領域的要求,本文重點介紹了聲學掃描顯微鏡的工作原理。同時,用聲學掃描檢測技術對經(jīng)歷溫循后失效的某型號塑封穩(wěn)壓器進行了無損失效分析,準確而高效地找到了失效部位和失效原因。 

【文章頁數(shù)】:3 頁

【文章目錄】:
0 引言
1 聲學掃描顯微鏡工作原理
2 塑封器件的聲學掃描失效分析技術研究
3 結束語


【參考文獻】:
期刊論文
[1]塑封集成電路掃描聲學顯微鏡分析[J]. 李念念,張小強.  電子制作. 2019(23)
[2]基于計算機仿真的掃描隧道顯微鏡原理分析[J]. 宣鍇.  電子制作. 2019(14)



本文編號:3700928

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