大相對口徑離軸凸拋物面鏡的加工檢測是光學加工檢測的重要挑戰(zhàn)之一。結(jié)合一塊口徑為Φ100 mm、離軸量為87.5 mm、曲率半徑為500 mm的大相對口徑離軸凸拋物鏡,計算出母鏡加工修磨量,并提出一種工藝球面補償檢測和離軸Hindle球檢測相結(jié)合的檢測方法,有效地避免了單獨使用一種檢測方法的缺陷,節(jié)約了加工成本并進一步提高了檢測精度。最終加工完成的大相對口徑離軸凸拋物面鏡精度均方根（RMS）優(yōu)于λ/40 （λ=632.8 nm）,表明該方法具有可行性,可廣泛用于實際生產(chǎn)加工中。 

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【文章目錄】：
1 引言
2 離軸凸拋物面的加工
3 離軸凸拋物面的檢測
    3.1 工藝球面補償檢測光路設計
    3.2 離軸Hindle球檢測光路設計
    3.3 檢測光路的搭建
4 總結(jié)


【參考文獻】：
期刊論文
[1]利用環(huán)形子孔徑拼接法檢測非球面反射鏡[J]. 李江,楊朋利,李文婷,王芝,安靜,馮婕,馬愛秋,付曉慶.  應用光學. 2015(05)



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