本文關(guān)鍵詞：基于激光平面干涉儀的平晶面形測(cè)量系統(tǒng)，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：在光學(xué)冷加工領(lǐng)域,平晶是常用到的計(jì)量器具,而平面度是其參數(shù)指標(biāo)中極其重要的一個(gè)環(huán)節(jié)。作為測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)其本身的平面度指標(biāo)需具備良好的精度。在我國(guó)現(xiàn)行的計(jì)量領(lǐng)域還主要依靠人工目視測(cè)量,采用光圈公差(N)和局部光圈公差(△1,N,△2N)來表征。這種測(cè)量方式的判讀效率以及結(jié)果精度已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展的速度需求。 本項(xiàng)目是基于PG15-J4型激光干涉儀改造后的平臺(tái)完成的。結(jié)合了CCD圖像傳感技術(shù)以及計(jì)算機(jī)圖像處理,不僅提高了測(cè)量的自動(dòng)化程度而且也提高了指標(biāo)精度。論文中首先介紹了平晶的相關(guān)理論知識(shí)以及光學(xué)干涉理論,并介紹了幾種主要的檢定方法,最后確定等厚干涉法為最佳,接著完成了對(duì)PG-15J4型激光干涉儀自動(dòng)判讀改進(jìn),包括光源,CCD等關(guān)鍵零件的裝配。然后將數(shù)字相機(jī)采集的圖像進(jìn)行處理,包括獲取背景,線性對(duì)比度展寬,條紋與背景的相減處理,圖像濾波,二值化等等,最終獲得單像素條紋。根據(jù)JJG28-2000規(guī)定的判讀法計(jì)算出平面度指標(biāo)。最終的結(jié)果通過對(duì)比表明符合計(jì)量檢定規(guī)程JJG28-2000的要求。從而達(dá)到了預(yù)先的既定目標(biāo)即提高檢定效率的同時(shí)也保證了測(cè)量精度。
【關(guān)鍵詞】：平面度 光圈公差 激光干涉儀 圖像處理
【學(xué)位授予單位】：南京理工大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2013
【分類號(hào)】：TG806;TH744.3
【目錄】：

• 摘要3-4
• Abstract4-8
• 1 緒論8-12
• 1.1 研究背景意義8-9
• 1.2 平面度檢定技術(shù)現(xiàn)狀9-10
• 1.3 本論文主要的研究工作10-12
• 2 平面度測(cè)量系統(tǒng)12-26
• 2.1 干涉原理及干涉儀12-17
• 2.1.1 干涉原理12-13
• 2.1.2 干涉儀的分類13-14
• 2.1.3 等傾和等厚干涉基本原理14-15
• 2.1.4 等厚干涉儀的分類15-17
• 2.2 平晶分類與檢測(cè)17-20
• 2.2.1 平晶的定義17-18
• 2.2.2 性能要求18-20
• 2.3 常見的檢定方法20-24
• 2.3.1 等厚法20-22
• 2.3.2 等傾法22-23
• 2.3.3 多面互檢23-24
• 2.3.4 三種檢定方法的對(duì)比24
• 2.4 本章小結(jié)24-26
• 3 PJ15-J4型干涉儀的改進(jìn)26-34
• 3.1 PG15-J4型等厚干涉儀的結(jié)構(gòu)26-28
• 3.1.1 干涉儀系統(tǒng)參數(shù)26-27
• 3.1.2 相干光波的計(jì)算27-28
• 3.2 CCD相機(jī)28-31
• 3.2.1 CCD相機(jī)分類28-29
• 3.2.2 CCD圖像測(cè)量技術(shù)29-30
• 3.2.3 DC130數(shù)字?jǐn)z像機(jī)30-31
• 3.3 接收系統(tǒng)的改造31-33
• 3.3.1 激光擴(kuò)束系統(tǒng)32
• 3.3.2 CCD鏡頭的計(jì)算與選擇32-33
• 3.4 本章小結(jié)33-34
• 4 干涉條紋的數(shù)字處理技術(shù)34-48
• 4.1 干涉圖像預(yù)處理34-37
• 4.1.1 對(duì)比度線性展寬34-35
• 4.1.2 圖像相減35-37
• 4.2 干涉圖像的濾波37-39
• 4.2.1 線性濾波器37-38
• 4.2.2 非線性濾波器38-39
• 4.2.3 實(shí)例對(duì)比39
• 4.3 圖像二值處理39-41
• 4.3.1 幾種常見的二值化法39-41
• 4.3.2 實(shí)例對(duì)比41
• 4.4 開運(yùn)算與閉運(yùn)算41-43
• 4.5 圖像的細(xì)化處理43-46
• 4.5.1 細(xì)化算法原理43-46
• 4.5.2 仿真實(shí)現(xiàn)46
• 4.6 條紋的修正和標(biāo)記46-47
• 4.7 本章小結(jié)47-48
• 5 測(cè)量結(jié)果及數(shù)據(jù)處理48-57
• 5.1 面形偏差的指標(biāo)48-51
• 5.1.1 光圈指標(biāo)48-49
• 5.1.2 數(shù)字波面指標(biāo)49-50
• 5.1.3 兩種指標(biāo)的關(guān)系50-51
• 5.2 儀器的調(diào)整及測(cè)量51-54
• 5.2.1 儀器的調(diào)整51-52
• 5.2.2 數(shù)據(jù)測(cè)量52-54
• 5.3 不確定度分析54-56
• 5.3.1 方差和傳播系數(shù)54-55
• 5.3.2 輸入量的標(biāo)準(zhǔn)不確定度來源55
• 5.3.3 合成不確定度與擴(kuò)展不確定度55-56
• 5.4 本章小結(jié)56-57
• 6 總結(jié)與展望57-58
• 致謝58-59
• 參考文獻(xiàn)59-61

【參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 宮美望;劉文君;;平晶檢定時(shí)干涉條紋的快速調(diào)整方法與平面度計(jì)算[J];工業(yè)計(jì)量;2007年05期

2 宮美望;王召孟;劉文君;;溫度對(duì)平晶平面度影響的定性分析及相關(guān)問題探討[J];工業(yè)計(jì)量;2008年03期

3 王娜;杜世培;;基于數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)的細(xì)化算法[J];貴州工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2007年02期

4 何勇,王青,朱日宏,陳進(jìn)榜;Windows環(huán)境下干涉圖像采集和處理[J];紅外與激光工程;2003年02期

5 施啟樂,王從軍,黃樹槐;數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)圖像細(xì)化算法在RE中的應(yīng)用研究[J];華中科技大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2004年07期

6 陳士金,湯漾平,鄧勇;基于鏈碼的輪廓跟蹤技術(shù)在二值圖像中的應(yīng)用[J];華中理工大學(xué)學(xué)報(bào);1998年12期

7 宮美望;;平晶平面度綜合測(cè)量方法探討[J];計(jì)量與測(cè)試技術(shù);2009年03期

8 王海燕,師月山,賀渝龍,李相銀;二維干涉條紋圖像處理算法的優(yōu)化選擇[J];南京理工大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2005年03期

9 李俊;平面平晶檢定中若干問題的探討[J];計(jì)量技術(shù);1996年05期

10 于起峰;光測(cè)條紋圖處理中免除噪聲的正則化條紋法[J];實(shí)驗(yàn)力學(xué);1999年03期

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

1 魏彩云;干涉條紋圖像的空域處理與應(yīng)用研究[D];南京理工大學(xué);2011年

2 高輝;等厚干涉儀對(duì)大尺寸平面度的數(shù)字化測(cè)量[D];南京理工大學(xué);2012年

  本文關(guān)鍵詞：基于激光平面干涉儀的平晶面形測(cè)量系統(tǒng)，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

本文編號(hào)：367962