基于散射式近場(chǎng)探測(cè)原理,設(shè)計(jì)并搭建了散射式太赫茲掃描近場(chǎng)光學(xué)顯微系統(tǒng)（THz sSNOM）,實(shí)現(xiàn)了納米量級(jí)空間分辨率的太赫茲近場(chǎng)顯微成像測(cè)量。該系統(tǒng)以輸出頻率范圍為0.1～0.3 THz的太赫茲倍頻模塊為發(fā)射源,通過(guò)納米探針的針尖產(chǎn)生納米光源與樣品相互作用,并將樣品表面的倏逝波轉(zhuǎn)化為可在遠(yuǎn)場(chǎng)測(cè)量的輻射波。通過(guò)探針逐點(diǎn)掃描樣品表面,同時(shí)獲得了樣品表面的形貌圖和太赫茲近場(chǎng)顯微圖。該系統(tǒng)的顯微分辨率取決于探針針尖的曲率半徑,而與太赫茲波的波長(zhǎng)無(wú)關(guān)。使用該系統(tǒng)測(cè)量了金薄膜/硅襯底樣品和石墨烯樣品的近場(chǎng)顯微圖,結(jié)果表明,近場(chǎng)顯微的空間分辨率優(yōu)于60 nm,波長(zhǎng)與空間分辨率之比高達(dá)λ/26 000。 

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【文章目錄】：
引言
1 理論分析和系統(tǒng)設(shè)計(jì)
    1.1 理論分析
    1.2 理論計(jì)算
    1.3 系統(tǒng)設(shè)計(jì)
2 數(shù)據(jù)分析
3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果
4 結(jié)論



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