一種諧振式加速度計的穩(wěn)定性分析方法
發(fā)布時間:2022-08-02 20:31
諧振式加速度計的振動穩(wěn)定性,是加速度計的重要性能指標之一,對測量精度和可靠性有重要影響。本文以諧振式加速度計敏感結(jié)構(gòu)的振動穩(wěn)定性為研究對象,研究其結(jié)構(gòu)參數(shù)對諧振梁振動穩(wěn)定性的影響。首先分析諧振式加速度的敏感機理,構(gòu)建諧振梁動力學(xué)數(shù)學(xué)模型;利用小參數(shù)攝動法求解諧振梁動力學(xué)數(shù)學(xué)模型的一般近似解,為諧振梁的振動穩(wěn)定性提供理論基礎(chǔ);針對2種典型軸向力,求得諧振梁動力學(xué)模型穩(wěn)定性區(qū)間的過渡曲線,定量分析諧振梁振動穩(wěn)定性與加速度計結(jié)構(gòu)參數(shù)之間的對應(yīng)關(guān)系;依據(jù)穩(wěn)定性分析結(jié)論對設(shè)計的加速度計進行1g靜態(tài)翻滾驗證實驗。研究結(jié)果表明,穩(wěn)定性分析為優(yōu)化設(shè)計加速度計結(jié)構(gòu)參數(shù)提供有效的理論依據(jù)。
【文章頁數(shù)】:6 頁
【文章目錄】:
1 諧振式加速度計工作原理
2 加速度計諧振梁的振動模型
3 諧振式加速度計的穩(wěn)定性分析方法
3.1 諧振梁振動模型的近似解
3.2 諧振梁的穩(wěn)定性分析
4 實 驗
5 結(jié) 論
【參考文獻】:
期刊論文
[1]基于特定諧波消除的多電平變換器最優(yōu)基頻調(diào)制[J]. 楊克虎,張建軍,王譽博,李翔宇. 礦業(yè)科學(xué)學(xué)報. 2017(03)
[2]離心式過載加速度計檢測裝置[J]. 尹曉麗,常歡,聶振華,于亞云,秦朝俊. 計測技術(shù). 2015(02)
[3]三明治型微加速度計溫度漂移封裝膠關(guān)系研究[J]. 戴強,蘇偉,張德,彭勃,蔣剛. 太赫茲科學(xué)與電子信息學(xué)報. 2015(01)
[4]硅MEMS器件加工技術(shù)及展望[J]. 徐永青,楊擁軍. 微納電子技術(shù). 2010(07)
本文編號:3669196
【文章頁數(shù)】:6 頁
【文章目錄】:
1 諧振式加速度計工作原理
2 加速度計諧振梁的振動模型
3 諧振式加速度計的穩(wěn)定性分析方法
3.1 諧振梁振動模型的近似解
3.2 諧振梁的穩(wěn)定性分析
4 實 驗
5 結(jié) 論
【參考文獻】:
期刊論文
[1]基于特定諧波消除的多電平變換器最優(yōu)基頻調(diào)制[J]. 楊克虎,張建軍,王譽博,李翔宇. 礦業(yè)科學(xué)學(xué)報. 2017(03)
[2]離心式過載加速度計檢測裝置[J]. 尹曉麗,常歡,聶振華,于亞云,秦朝俊. 計測技術(shù). 2015(02)
[3]三明治型微加速度計溫度漂移封裝膠關(guān)系研究[J]. 戴強,蘇偉,張德,彭勃,蔣剛. 太赫茲科學(xué)與電子信息學(xué)報. 2015(01)
[4]硅MEMS器件加工技術(shù)及展望[J]. 徐永青,楊擁軍. 微納電子技術(shù). 2010(07)
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