本文關(guān)鍵詞：微小零件平面度精密測(cè)量裝置研究與設(shè)計(jì)，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：對(duì)于航空航天靜壓軸承、靜壓導(dǎo)軌中的氣浮元器件等,都具有精度高、加工誤差難于檢測(cè)的特點(diǎn)。當(dāng)零件的尺寸小,平面度優(yōu)于1μm時(shí),常規(guī)的平晶難于定量檢測(cè)。目前對(duì)于小尺寸零件平面度檢測(cè)可采用輪廓儀、超精密測(cè)量?jī)x、臺(tái)階儀等設(shè)備,但是其價(jià)格卻十分的昂貴,并且大多測(cè)量?jī)x器都是從國(guó)外引進(jìn),工程應(yīng)用成本高,不適合推廣應(yīng)用。在低成本下研究微小零件平面度高精度測(cè)量對(duì)于我國(guó)工業(yè)的發(fā)展有著深遠(yuǎn)意義。本文設(shè)計(jì)了一種小尺寸零件平面度精密測(cè)量裝置,在滿足低成本的前提下實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量,為小尺寸零件平面度的測(cè)量提供一種便捷、精確的測(cè)量手段。該裝置采用二維柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)做為平面測(cè)量基準(zhǔn),通過(guò)微分頭驅(qū)動(dòng)工作臺(tái)實(shí)現(xiàn)二維平面掃描運(yùn)動(dòng),測(cè)試并分析了導(dǎo)向機(jī)構(gòu)在x、y方向的導(dǎo)向精度,使用LVDT傳感器結(jié)合AD698設(shè)計(jì)一維測(cè)頭,由測(cè)力可調(diào)的電感測(cè)頭測(cè)量工件表面高度變化。采用標(biāo)準(zhǔn)平晶作為被測(cè)件在1 Omm ×10mm范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)量,對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)應(yīng)用最小二乘法進(jìn)行平面度評(píng)價(jià),得到設(shè)計(jì)的測(cè)量裝置的測(cè)量不確定度為0.644μm。
【關(guān)鍵詞】：精密測(cè)量 柔性鉸鏈 平面度
【學(xué)位授予單位】：西安工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號(hào)】：TH71
【目錄】：

• 摘要3-4
• Abstract4-7
• 主要符號(hào)表7-8
• 1 緒論8-19
• 1.1 研究課題意義8
• 1.2 平面度檢測(cè)技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀8-18
• 1.3 研究的主要內(nèi)容18-19
• 2 測(cè)量系統(tǒng)機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)19-28
• 2.1 導(dǎo)軌類型19-20
• 2.2 基于柔性鉸鏈的柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)20-22
• 2.2.1 柔性鉸鏈原理特性20-21
• 2.2.2 柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)21-22
• 2.3 測(cè)量裝置導(dǎo)向結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)22-24
• 2.4 導(dǎo)向機(jī)構(gòu)剛度分析24-25
• 2.5 測(cè)頭結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)25-26
• 2.6 裝置整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)26-28
• 3 測(cè)頭電路設(shè)計(jì)28-44
• 3.1 檢測(cè)電路總體方案設(shè)計(jì)28
• 3.2 模擬電路設(shè)計(jì)28-38
• 3.2.1 模擬電路設(shè)計(jì)28-31
• 3.2.2 LVDT傳感器信號(hào)調(diào)理31-36
• 3.2.3 模數(shù)轉(zhuǎn)換電路36-38
• 3.3 數(shù)字電路部分38-39
• 3.3.1 STC12C5A單片機(jī)電路38-39
• 3.3.2 RS232與上位機(jī)通信39
• 3.4 電源設(shè)計(jì)39-41
• 3.4.1 開(kāi)關(guān)電源40
• 3.4.2 線性電源40-41
• 3.5 PCB板設(shè)計(jì)41-42
• 3.6 程序設(shè)計(jì)42-44
• 4 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析44-60
• 4.1 直線度誤差評(píng)定方法44-47
• 4.2 平面度誤差評(píng)定方法47-49
• 4.3 測(cè)頭精度測(cè)試49-51
• 4.3.1 扭簧表對(duì)照實(shí)驗(yàn)原理49-50
• 4.3.2 測(cè)頭讀數(shù)與位移量對(duì)應(yīng)關(guān)系50-51
• 4.4 導(dǎo)向精度測(cè)試51-55
• 4.4.1 x軸向?qū)蚓葴y(cè)試51-53
• 4.4.2 y軸向?qū)蚓葴y(cè)試53-55
• 4.5 平面度測(cè)量裝置標(biāo)定55-60
• 4.5.1 測(cè)量裝置標(biāo)定實(shí)驗(yàn)55-58
• 4.5.2 不確定度分析58-60
• 5 結(jié)論60-62
• 參考文獻(xiàn)62-65
• 攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表的論文65-66
• 致謝66-68

【參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前4條

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2 昌學(xué)年;姚毅;閆玲;;位移傳感器的發(fā)展及研究[J];計(jì)量與測(cè)試技術(shù);2009年09期

3 王雯靜;余躍慶;;橢圓柔性鉸鏈柔順機(jī)構(gòu)的動(dòng)力學(xué)建模與分析[J];機(jī)械設(shè)計(jì)與研究;2007年06期

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中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

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本文編號(hào)：365944