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微視覺圖像面內(nèi)微位移精密測(cè)量理論與實(shí)驗(yàn)研究

發(fā)布時(shí)間:2022-02-12 17:25
  隨著微納技術(shù)的孕育興起,人們探索世界客觀事物規(guī)律的視角逐漸從宏觀領(lǐng)域走向微觀領(lǐng)域,該技術(shù)的發(fā)展與精密測(cè)量技術(shù)密不可分。微視覺測(cè)量技術(shù)相比于其他測(cè)量技術(shù)具有非接觸、低成本、高精度、多自由度等優(yōu)勢(shì),利用該技術(shù)與高性能的算法結(jié)合可以準(zhǔn)確地進(jìn)行平面內(nèi)微位移的測(cè)量。然而,現(xiàn)有成熟的圖像處理算法和位移測(cè)量算法在顯微系統(tǒng)的引入后將變得低效,不能直接運(yùn)用。因此,本論文旨在研究具有良好綜合性能(高精度、強(qiáng)魯棒等)的微視覺圖像面內(nèi)微位移測(cè)量算法,主要研究內(nèi)容如下:(1)研究微視覺圖像的自適應(yīng)增強(qiáng)方法。由于微視覺圖像中常出現(xiàn)的光照不均、灰度值偏低、對(duì)比度差、信噪比低等缺陷使之不能直接作為微位移測(cè)量的輸入,為此提出一種RCVG微視覺圖像自適應(yīng)增強(qiáng)算法。首先,對(duì)算法實(shí)現(xiàn)的總體框架進(jìn)行介紹;其次,對(duì)自適應(yīng)變?cè)鲆孀訋Х纸膺^程作出了詳細(xì)的描述與分析;然后,利用基于雙邊濾波原理的自適應(yīng)升余弦卷積法進(jìn)行照度估計(jì),并對(duì)升余弦函數(shù)族如何逼近高斯函數(shù)作出了理論推導(dǎo);最后,經(jīng)過亮度校正后,分別將RCVG算法應(yīng)用于普通圖像的增強(qiáng)實(shí)驗(yàn)和微視覺圖像面內(nèi)微位移測(cè)量的前處理實(shí)驗(yàn)中,結(jié)果表明RCVG算法可以有效地提高圖像質(zhì)量,是保證測(cè)量精度... 

【文章來源】:華南理工大學(xué)廣東省211工程院校985工程院校教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】:148 頁

【學(xué)位級(jí)別】:博士

【部分圖文】:

微視覺圖像面內(nèi)微位移精密測(cè)量理論與實(shí)驗(yàn)研究


圖1-1兩手指微機(jī)械手[8]

伺服裝置,生物工程,學(xué)科


微外科手術(shù)伺服裝置

頻閃,干涉測(cè)量


[26]介紹了一種新型頻閃干涉測(cè)量系統(tǒng),該系統(tǒng)與顯微技術(shù)結(jié)合用于測(cè)量移動(dòng) MEMS 器件納米尺度的位移,其光學(xué)布局如圖1-3所示。此系統(tǒng)通過將視頻圖像和相移干涉測(cè)量結(jié)合到環(huán)境室,可以實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)裝置運(yùn)動(dòng)的快速可視化,將干涉儀集成到室窗口上,進(jìn)一步增強(qiáng)了系統(tǒng)的性能,允許在嘈雜的環(huán)境中進(jìn)行魯棒的干涉測(cè)試且不需要浮動(dòng)的光學(xué)平臺(tái)。光源是在 635nm 工作的光纖耦合二極管激光器 (Melles Griot 57ICS062 / SP / HS),該激光器被直接調(diào)制。Petitgrand 等人[32]使用帶有 LED 陣列的頻閃照明與自動(dòng)快速傅里葉變換相位解調(diào)實(shí)現(xiàn)對(duì)微機(jī)械器件振動(dòng)模態(tài)的三維測(cè)量,對(duì) Al 懸臂微梁和 Cr 微膜的三維振動(dòng)模式進(jìn)行測(cè)量與分析,結(jié)果表明時(shí)4

【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
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[3]基于顯微視覺的亞像素壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)特性測(cè)量[J]. 劉艷梅,金博偉,魏陽杰,薛定宇,董再勵(lì).  儀器儀表學(xué)報(bào). 2015(05)
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博士論文
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[4]基于計(jì)算機(jī)視覺圖像精密測(cè)量的關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 朱錚濤.華南理工大學(xué) 2004
[5]用于掩模板表面形貌測(cè)量的外差干涉顯微系統(tǒng)的研究[D]. 柳忠堯.清華大學(xué) 2004

碩士論文
[1]基于相位光柵干涉?zhèn)鞲械奈灰茰y(cè)量系統(tǒng)研究[D]. 束名揚(yáng).哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2016
[2]電容測(cè)微系統(tǒng)的智能化研究[D]. 李科.華北理工大學(xué) 2015
[3]基于電容法的微位移測(cè)量技術(shù)的研究[D]. 李曉輝.大連海事大學(xué) 2015
[4]相位光柵干涉觸針式傳感器系統(tǒng)的研究[D]. 黑楊輝.華中科技大學(xué) 2012
[5]精密位移、振動(dòng)測(cè)量的電容法研究[D]. 朱義強(qiáng).北京交通大學(xué) 2008
[6]利用相移顯微干涉術(shù)和頻閃成像技術(shù)研究MEMS離面運(yùn)動(dòng)[D]. 胡春光.天津大學(xué) 2004
[7]激光多普勒振動(dòng)檢測(cè)技術(shù)的研究[D]. 姚欣.天津大學(xué) 2004



本文編號(hào):3622132

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