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非球面面型檢測新原理研究

發(fā)布時間:2022-01-23 07:24
  深入比較了非球面光學元件與球面元件間的優(yōu)缺點,討論了非球面光學元件面型精度檢測的重要性,調研了當前國內外非球面光學元件面型檢測技術的相關方法,綜述了當前非球面光學元件面型檢測方法的實現的難易點及不足,最終提出非球面面型檢測新方法,給出了檢測新原理的具體實施方案。 

【文章來源】:科學技術創(chuàng)新. 2020,(26)

【文章頁數】:2 頁

【部分圖文】:

非球面面型檢測新原理研究


無像差點檢測示意圖

示意圖,鏡檢,示意圖,補償精度


蘇聯科學家最早提出補償鏡,后逐步演變?yōu)槎喾N方法,其中,Offner補償鏡最為普及,其校正了非球面球差,補償精度高。圖2所示為Offner補償鏡檢測示意圖。(3)計算全息圖法

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計算全息圖是利用計算機生成波前全息圖案,后制備圖案基底,當光照時,就會復現全息記錄。利用此原理可生成與之匹配的非球面波,進行實現面型檢測。圖3所示為計算全息對非球面的檢測示意圖。(4)環(huán)帶拼接法


本文編號:3603885

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