深入比較了非球面光學(xué)元件與球面元件間的優(yōu)缺點(diǎn),討論了非球面光學(xué)元件面型精度檢測的重要性,調(diào)研了當(dāng)前國內(nèi)外非球面光學(xué)元件面型檢測技術(shù)的相關(guān)方法,綜述了當(dāng)前非球面光學(xué)元件面型檢測方法的實(shí)現(xiàn)的難易點(diǎn)及不足,最終提出非球面面型檢測新方法,給出了檢測新原理的具體實(shí)施方案。 

【文章來源】：科學(xué)技術(shù)創(chuàng)新. 2020,(26)

【文章頁數(shù)】：2 頁

【部分圖文】：

無像差點(diǎn)檢測示意圖

蘇聯(lián)科學(xué)家最早提出補(bǔ)償鏡，后逐步演變?yōu)槎喾N方法，其中，Offner補(bǔ)償鏡最為普及，其校正了非球面球差，補(bǔ)償精度高。圖2所示為Offner補(bǔ)償鏡檢測示意圖。(3）計(jì)算全息圖法

計(jì)算全息圖是利用計(jì)算機(jī)生成波前全息圖案，后制備圖案基底，當(dāng)光照時，就會復(fù)現(xiàn)全息記錄。利用此原理可生成與之匹配的非球面波，進(jìn)行實(shí)現(xiàn)面型檢測。圖3所示為計(jì)算全息對非球面的檢測示意圖。(4）環(huán)帶拼接法


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