多口復(fù)合分子泵的設(shè)計拓寬了復(fù)合分子泵在檢漏技術(shù)中的應(yīng)用范圍,它結(jié)合了順流檢漏與逆流檢漏各自特點,通過接入不同的抽氣口以適應(yīng)不同的檢漏需求。多口復(fù)合分子泵的抽氣能力決定了檢漏儀的性能,而抽氣口位置決定了分子泵的抽氣能力�；诜肿颖贸闅饣纠碚�,建立了多口復(fù)合分子泵的計算模型,在渦輪級選取不同位置設(shè)置精檢口,并結(jié)合質(zhì)譜儀實際使用情況對抽氣特性進行研究,分析精檢口位置對檢漏性能的影響,得到了不同檢漏工況下的最優(yōu)開口位置,為檢漏用多口復(fù)合分子泵結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計提供理論依據(jù)。結(jié)果表明,被檢件工作壓力為10 Pa時,精檢口應(yīng)開在第8級葉列之后,工作壓力為0.1 Pa時,精檢口只需在第3級葉列之后即可;漏孔漏率為0.1 Pa·m³/s,精檢口位置應(yīng)在8級葉列之后;當(dāng)氦氣返流量為最小可檢漏率值時,將精檢口開在第8級葉列處可以獲得較好的檢測性能。 

【文章來源】：儀器儀表學(xué)報. 2020,41(11)北大核心EICSCD

【文章頁數(shù)】：8 頁

【部分圖文】：

圓形截面漏孔

在分析多口復(fù)合分子泵應(yīng)用于氦質(zhì)譜檢漏儀的抽氣性能時,首先需要計算多口復(fù)合分子泵的抽氣特性參數(shù):以開口位置為界上半部分的渦輪葉列抽速S2、壓縮比K、下半部分的渦輪葉列抽速S3,如圖4所示。以科技部重大儀器專項開發(fā)的F- 63型復(fù)合分子泵數(shù)據(jù)進行理論計算,具體參數(shù)為:轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速n=72 000 r/min;渦輪外徑D=67 mm;靜葉片外徑D′=68 mm;渦輪內(nèi)徑第1級為d=44 mm,之后幾級是52 mm。渦輪級葉片幾何參數(shù)如表1所示。

如圖5所示,隨著開口位置由高真空側(cè)向低真空側(cè)移動,對于空氣分子的抽速S2逐漸增大,在渦輪葉列4～5級之前急速上升,之后變化平穩(wěn),當(dāng)開口位置位于6～7級之后,抽速S2基本保持穩(wěn)定,對于氦氣分子,當(dāng)抽氣口開在5～6級之間時,抽速達到最大值,之后緩慢下降。如圖6所示,以開口位置為界下半部分的抽速S3隨著開口位置從1級葉列移動到12級葉列而逐漸降低。對于空氣與氦氣兩種介質(zhì),在5級葉列之前對空氣分子的抽速大于對氦氣分子的抽速,之后對空氣的抽速略低于對氦氣的抽速,當(dāng)開口位置處于8級葉列之后,兩者的抽速基本相等。分析圖6中曲線,在6級葉列之前屬于高速抽氣段,每增加一級葉列都會使得抽速變化很多,之后的葉片形狀抽速較低,對抽速的影響較小。

【參考文獻】：
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本文編號：3602150