為了提高光學元件的面形精度,精確擬合出離子束去除函數(shù)。以去除函數(shù)的方均根（RMS）為分析對象,分析不同疊加間距下離子束等量去除的去除量及波動量。根據(jù)理論及實驗數(shù)據(jù)分析驗證一維等量去除的可行性,得出最優(yōu)疊加間距為σ。再以σ為疊加間距進行二維等量去除理論及實驗分析,通過30s熔石英二維等量去除實驗,得出去除量為384.7nm。結合拋光實驗,對RMS值為138.5nm的Φ100mm口徑的熔石英平面窗口玻璃進行面形修正,加工后RMS值為18nm,面形收斂率達到7.82。 

【文章來源】：激光與光電子學進展. 2020,57(03)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：7 頁

【部分圖文】：

去除函數(shù)擬合圖

采用圖2所示柵格路徑的加工方式對光學元件進行修形。因為柵格路徑的加工方式與二維等量去除率以及元胞尺寸的劃分有關，通過分析及實驗發(fā)現(xiàn)元胞直徑為1.41σ時，能夠獲取準確的駐留時間，達到較高的面形收斂。為了實現(xiàn)離子束等量去除相關量，對高斯型去除函數(shù)進行預測，其數(shù)學表達式所傳遞的含義都與σ有關，因此根據(jù)σ來分析不同疊加間距下的等量去除效果。2.1 一維等量去除的實現(xiàn)

γ值的大小表示波動程度的大小，波動值越大疊加效果越差。波動值分析曲線如圖4所示。當疊加間距為σ時，波動值為3.57×10-6 nm；疊加間距為1.5σ時，波動值為0.13nm，基本實現(xiàn)了理想的理論去除；當疊加間距為2σ時，波動比較明顯，因此選擇疊加間距在2σ以內進行實驗分析更合理。圖4 波動值變化曲線

【參考文獻】：
期刊論文
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博士論文
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碩士論文
[1]離子束拋光去除特性研究[D]. 段沽坪.中國科學院研究生院（光電技術研究所） 2013
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本文編號：3564679