發(fā)布時間：2021-12-25 02:44

　　光譜共焦測量技術(shù)是以波長承載位移信息的測量技術(shù),在精密制造加工領(lǐng)域有著很好的發(fā)展前景。這其中最核心的部分就是光學(xué)色散系統(tǒng)和光譜的信號處理部分,它的好壞將直接對最終測量結(jié)果的精度以及分辨率產(chǎn)生比較重要的結(jié)果。在測量系統(tǒng)中,采用了光線耦合技術(shù),使得LED的白色光源在經(jīng)過準(zhǔn)直透鏡后進入到色散透鏡當(dāng)中,實現(xiàn)在軸上的不同位置不同波長的光的聚焦,在被測物體的表面,被反射回來的某一單色光在到達(dá)光譜分析系統(tǒng)的時候,相關(guān)信息被系統(tǒng)所采集。由于一個波長有一個指定的對對應(yīng)距離值,所以在經(jīng)過峰值識別之后是可以完成位移值的推算的。論文主要工作如下:1、采用寬光譜的光纖光源（LED白光）,由光纖導(dǎo)入聚焦透鏡新系統(tǒng)�；诠鈱W(xué)色像差聚焦系統(tǒng)設(shè)計。利用Zemax軟件在對該設(shè)計進行模擬分析;中心波長為550nm。對不同平行光照射下的透鏡聚焦情況進行模擬,對優(yōu)化目標(biāo)以及相關(guān)的操作指數(shù)例如焦距或者球差等進行優(yōu)化,達(dá)到提升設(shè)計的性能的目的,為設(shè)計的可行性提供分析依據(jù)。2、設(shè)計基于高密度光柵的集成化光譜檢測系統(tǒng),采用反射光柵進行分光,采用一維CCD進行光譜識別,本次設(shè)計建立在FPGA全硬件型號處理的基礎(chǔ)之上,并且使用了小波去聲算... 

【文章來源】：合肥工業(yè)大學(xué)安徽省 211工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：65 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

激光三角位移測量原理

圖 1.1 激光三角位移測量原理Fig 1.1 Laser trigonometric displacement sensor（2）同軸共焦法自從 MarvinMinsky 提出了共焦原理之后，并在此基礎(chǔ)上制作了第一臺共鏡[11]，Browne 等人又在顯微鏡當(dāng)中運用了光譜深度掃描原理。之后又進展出了同軸共焦位移的精密測量方法，其基本原理結(jié)構(gòu)如圖 1.2 所示。

手機屏幕多層厚度檢測Fig1.3Multi-layerthicknessdetectionofmobilephonescreen

【參考文獻】：
期刊論文
[1]基于光譜共焦位移傳感器的非接觸式回轉(zhuǎn)誤差測量系統(tǒng)[J]. 藍(lán)河,雷大江,錢林弘,夏歡,孫樹磊.  制造技術(shù)與機床. 2017(03)
[2]基于白光LED的光譜共焦位移傳感器[J]. 王津楠,陳鳳東,劉炳國,甘雨,劉國棟.  中國測試. 2017(01)
[3]線陣CCD光譜分辨率檢測系統(tǒng)設(shè)計[J]. 畢繼耀,張大偉,楊海馬,黃元申,王光斌,蘇仰慶.  電子測量與儀器學(xué)報. 2015(07)
[4]中國制造業(yè)的核心能力、功能定位與發(fā)展戰(zhàn)略——兼評《中國制造2025》[J]. 黃群慧,賀俊.  中國工業(yè)經(jīng)濟. 2015(06)
[5]非接觸式位移傳感器在動響應(yīng)測試中的應(yīng)用研究[J]. 鄧麗華,孫福強,劉宇,鄭甜,洪珊琴.  電子技術(shù)與軟件工程. 2014(12)
[6]線性色散設(shè)計的光譜共焦測量技術(shù)[J]. 劉乾,王洋,楊維川,袁道成.  強激光與粒子束. 2014(05)
[7]光譜共焦顯微鏡的線性色散物鏡設(shè)計[J]. 劉乾,楊維川,袁道成,王洋.  光學(xué)精密工程. 2013(10)
[8]位移傳感器的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢[J]. 劉焱,王燁.  自動化技術(shù)與應(yīng)用. 2013(06)
[9]一種基于光纖器件的表面增強拉曼散射光譜檢測系統(tǒng)[J]. 廖艷林,劉曄,曹杰,張興坊,毛慶和.  中國激光. 2012(07)
[10]光譜共焦位移傳感器鏡頭設(shè)計研究[J]. 武芃樾,袁道成.  工具技術(shù). 2012(02)

碩士論文
[1]光電探測器關(guān)鍵性能參數(shù)測試研究[D]. 賀成群.大連理工大學(xué) 2009



本文編號：3551646