發(fā)布時(shí)間：2021-12-24 11:25

　　文章介紹了用平面平晶校準(zhǔn)量塊工作面平面度的方法,根據(jù)校準(zhǔn)原理提出局部平面度校準(zhǔn)來提高被測量面平面度校準(zhǔn)的精度,并對平面平晶的局部校準(zhǔn)提出了新的建議。 

【文章來源】：計(jì)量與測試技術(shù). 2020,47(04)

【文章頁數(shù)】：3 頁

【部分圖文】：

平晶與量塊測量面之間的干涉條紋圖像示意圖

為解決這一問題，本院采用型號為HOOL L9600的無應(yīng)力平面檢測激光干涉儀來校準(zhǔn)平面平晶。該儀器是我院與蘇州慧利儀器有限公司的合作項(xiàng)目，采用據(jù)菲索型干涉原理，實(shí)現(xiàn)組合式高精度面形檢測，優(yōu)點(diǎn)在于是能夠?qū)崿F(xiàn)高精度、100%無損的平晶平面度測量，可一次性獲取平晶的平面度和三維面形圖，并且對數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)分析處理。還可通過軟件自帶編輯功能，對圖形進(jìn)行局部分析。操作過程如圖2所示，可以通過選取口徑形狀、口徑位置，直接得到50%d、66.7%d和96%d，即(1/2)d范圍內(nèi)、(2/3)d范圍內(nèi)、d范圍內(nèi)或其他口徑范圍的平面度，如圖2所示。4 平晶局部平面度的應(yīng)用

本方法也可測量多形狀和任意平面位置的局部平晶平面度。若客戶知道自己實(shí)際使用平晶的形狀和位置，我們可以根據(jù)實(shí)際使用的要求得到圓形、橢圓、矩形、環(huán)形、多邊形等形狀和位置，如圖3所示，并得出相應(yīng)的平面度數(shù)據(jù)。提高了產(chǎn)品的平面度測量精度，也更好的滿足客戶度方面的需求。5 結(jié)論


本文編號：3550401