液晶顯示屏（LCD）以其體積小、功耗低、接口方便控制的優(yōu)點在智能電子產(chǎn)品中得到了廣泛的應(yīng)用。LCD的厚度及其均勻性直接影響顯示清晰度性能,因此對LCD厚度的測量意義重大。本文對常見的厚度測量方法原理和特點進(jìn)行分析比較,根據(jù)LCD自身特點和測量要求,設(shè)計了雙路白光顯微干涉測厚系統(tǒng)。主要內(nèi)容如下:1.系統(tǒng)采用Mirau干涉分光光路,分為左右相同且位置對稱的兩裝置,左右裝置建立統(tǒng)一坐標(biāo)系來確定其對應(yīng)的位置關(guān)系。兩束白光分別聚焦到被測物體左右表面上,兩CCD分別采集左右被測物體表面形成的白光干涉圖像,在統(tǒng)一坐標(biāo)系下分析兩CCD上的白光干涉圖像從而得到被測物體的厚度。2.在此測量原理基礎(chǔ)上,選擇白光光源、Mirau干涉顯微鏡、圖像采集裝置等光學(xué)元件設(shè)計干涉光學(xué)成像系統(tǒng)和相應(yīng)的機械結(jié)構(gòu)。3.使用MATLAB處理采集到的白光干涉圖像,得到十字刻線中心提取算法、計算任意方向條紋斜率算法。特別是提出了一種提取白光零級干涉條紋中心位置的三色條紋分離度方法,與現(xiàn)有的提取白光零級干涉條紋中心位置方法相比,這種新方法基于白光干涉條紋的物理本質(zhì),定位更加簡單、可靠。4.對搭建的雙路白光顯微干涉系統(tǒng)進(jìn)行光路微調(diào)整、... 

【文章來源】：華中科技大學(xué)湖北省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：74 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

液晶顯示屏（LCD）結(jié)構(gòu)圖

點應(yīng)用尤為普遍，常用的光學(xué)測量法主要有光吸法[7]。據(jù)待測物體內(nèi)部傳播的光的衰減規(guī)律進(jìn)行厚度測比爾-朗伯定律表示為：)K b cT1A l g ( A 為吸光度；T 為透射比，是透射光強比入射光波長有關(guān)的摩爾吸收系數(shù)；c 為光物質(zhì)的濃度；反應(yīng)了光在被測物體內(nèi)部傳播的衰減程度與被間的關(guān)系，這一定律被廣泛的應(yīng)用于定量分析物是近紅外光吸收法測厚，美國 NDC 公司在這方on 等人研制了如圖 1-2 所示的寬波段聚合物厚度

華 中 科 技 大 學(xué) 碩 士 學(xué) 位 論 文漫射光源發(fā)出的漫射寬波段光通過乳白玻璃均勻照射到被測薄膜的透射光。分析系統(tǒng)光源入射光和被測薄膜到被測薄膜厚度。這種裝置的優(yōu)點是系統(tǒng)成本低、可快，但是，裝置相對測量誤差較大，精度較低。法非破壞性是多功能光學(xué)測量技術(shù)橢圓偏振法的優(yōu)點，厚度的測量、物質(zhì)介電性質(zhì)等工業(yè)測量中[11]。圓偏振法的測厚原理，非線偏振光從光源射出，通過測表面的光是橢圓偏振光，檢偏器和光電探測器的作入射偏振光與反射偏振光的偏振狀態(tài)與被測薄膜厚度被測薄膜的厚度 d 就可以通過分析測量光偏振狀態(tài)的變

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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博士論文
[1]基于白光干涉輪廓尺寸與形貌非接觸測量方法和系統(tǒng)[D]. 常素萍.華中科技大學(xué) 2007
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[3]表面微觀形貌測量中相移干涉術(shù)的算法與實驗研究[D]. 惠梅.中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機械研究所 2001

碩士論文
[1]便攜式單鏡頭激光三角測厚儀研究[D]. 汪琛.華中科技大學(xué) 2013
[2]基于DSP的超聲測厚系統(tǒng)研究[D]. 周瑩.哈爾濱工程大學(xué) 2009
[3]光譜型白光干涉在測距和光學(xué)薄膜相位測試中的應(yīng)用研究[D]. 倪肖勇.浙江大學(xué) 2008



本文編號：3541997