本文總結了當前同步輻射X射線反射鏡光學制造技術的需求背景、發(fā)展現(xiàn)狀以及未來方向。同步輻射光源是國家重大科學裝置,作為同步輻射光源重要光學元件的X射線反射鏡,直接決定著光學調(diào)制品質(zhì)。短波長掠入射的特殊應用場景,使X射線反射鏡有著更為特殊且高精度的面形要求,其加工與檢測技術長期為國外所壟斷,國內(nèi)發(fā)展較為緩慢,面對國內(nèi)未來同步輻射裝置的建設需求,我國亟需打破這一現(xiàn)狀。 

【文章來源】：光電工程. 2020,47(08)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：12 頁

【部分圖文】：

蔡司X射線反射鏡制造工藝

1991年，Mori等人提出等離子體化學氣相加工方法(plasma chemical vaporization machining,PCVM)，配合EEM的前道加工設備為化學等離子體拋光[9]，它采用電容耦合等離子體放電形式，以高速回轉電極做陽極，電極與工件之間形成高速等離子體流，使鏡面原子反應氣化并快速排出，抑制表面沉積現(xiàn)象的發(fā)生，原理示意圖見圖4。這種基于化學加工的非接觸加工方式，可以避免機械加工所引入的脆性斷裂、塑性變形、殘余應力等缺陷。圖3 彈性粒子發(fā)射加工原理示意圖[10]

彈性粒子發(fā)射加工原理示意圖[10]

【參考文獻】：
期刊論文
[1]中國高能同步輻射光源及其驗證裝置工程[J]. 姜曉明,王九慶,秦慶,董宇輝,盛偉繁,程健,徐剛,胡天斗,鄧虎,陳福三,龍鋒利,陸輝華,岳軍會,李春華,孫毅,陳錦暉,董海義,蔡泉,徐偉,李明,常廣才,鄭紅衛(wèi),陶冶,劉鵬,劉景,孫冬柏,黎剛,石泓,曹建社,譚園園.  中國科學:物理學 力學 天文學. 2014(10)
[2]使用子孔徑拼接法檢測大口徑光學元件[J]. 張蓉竹,楊春林,許喬,蔡邦維.  光學技術. 2001(06)



本文編號：3537498