光學(xué)干涉儀由于高精度、全口徑、非接觸特點在光學(xué)元件的檢測中具有極其廣泛的應(yīng)用。針對光學(xué)元件加工在線檢測需要,提出了一種緊湊型的多測量模式瞬態(tài)干涉儀。該系統(tǒng)可同時實現(xiàn)單波長激光干涉、多波長激光干涉以及LED干涉顯微測量等多種工作模式,以分別滿足不同動態(tài)范圍宏觀面形以及表面粗糙度等顯微結(jié)構(gòu)的干涉檢測。針對在線檢測應(yīng)用中復(fù)雜的環(huán)境振動影響,系統(tǒng)采用偏振相機來實現(xiàn)瞬態(tài)的偏振移相波前檢測。為驗證系統(tǒng)方案的可行性,對測量系統(tǒng)的主要誤差因素進(jìn)行了分析,并對不同工作模式下的金剛石車削機床在線檢測結(jié)果與Zygo激光干涉儀和Zygo光學(xué)輪廓儀進(jìn)行了比對實驗,同時也利用多波長技術(shù)對自由曲面進(jìn)行了在線檢測。結(jié)果表明該系統(tǒng)可實現(xiàn)高精度的多測量模式,并且還可以滿足大動態(tài)范圍波前測量要求。該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊,整體尺寸僅為195 mm×160 mm×65 mm,極其適合車削機床的在線安裝及檢測。同時系統(tǒng)基于瞬態(tài)波前檢測,具有對環(huán)境擾動不敏感的特點,在機床對中工具在線調(diào)整以及加工元件等在線檢測中具有廣泛的應(yīng)用前景。 

【文章來源】：紅外與激光工程. 2020,49(06)北大核心EICSCD

【文章頁數(shù)】：7 頁

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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