傳統(tǒng)的紫外熔石英元件加工方法本身會引入各類制造缺陷,需要后期加工來消除前期加工帶來的缺陷,限制了熔石英元件的加工質(zhì)量和加工效率。針對這些問題,課題組提出了采用磁流變、離子束、保形光順和流體動壓拋光等可控柔體加工技術(shù)提升熔石英元件的加工效果,并開展了相關(guān)研究。主要介紹了課題組在關(guān)鍵技術(shù)上取得的重要進展,包括亞納米精度表面控形制造技術(shù)、納米精度本征表面控性生成方法、熔石英元件高精度低缺陷組合工藝與設(shè)備等一系列關(guān)鍵技術(shù)。通過探討關(guān)鍵技術(shù)及其發(fā)展現(xiàn)狀,為未來紫外熔石英元件高精度低缺陷制造技術(shù)的發(fā)展提供參考。 

【文章來源】：強激光與粒子束. 2020,32(03)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：7 頁

【參考文獻】：
期刊論文
[1]利用大能量大功率的光激射器產(chǎn)生中子的建議[J]. 王淦昌.  中國激光. 1987(11)



本文編號：3461445