發(fā)布時間：2021-10-15 09:44

　　為了解決測量儀器的可溯源問題,使得表面結(jié)構(gòu)與制造質(zhì)量系統(tǒng)要求保持一致,從而需要對測量儀器進(jìn)行標(biāo)定。近年來在國際上對區(qū)域表面形貌測量領(lǐng)域的標(biāo)準(zhǔn)化做出了許多的努力,如創(chuàng)建ISO 25178系列標(biāo)準(zhǔn),其包括區(qū)域表面形貌測量儀器標(biāo)定方法和名義特征的表述。本文在總結(jié)國內(nèi)外現(xiàn)有研究成果的基礎(chǔ)上,系統(tǒng)研究了表面形貌測量儀器關(guān)鍵性能指標(biāo)的尺度標(biāo)定方法,并以接觸非接觸兩用表面形貌測量儀器為實例展開研究,具體研究內(nèi)容如下:（1）為了有效去除噪聲在接觸非接觸型兩用表面形貌測量儀器標(biāo)定中對區(qū)域表面形貌測量結(jié)果的影響,利用平均法和相減法分別來分析該儀器接觸和非接觸兩種測量原理在確定噪聲數(shù)值上的優(yōu)劣性。（2）標(biāo)定時,參考平面的形貌會疊加到被測物的表面形貌圖中。為了解決這一問題,在標(biāo)準(zhǔn)平面的不同位置處做多次重復(fù)測量,求得其平均形貌圖,對所得的平均形貌圖進(jìn)行十二階多項式分離法和閾值法處理得到其殘余平面度,并在接觸和非接觸兩種測量原理共用一個參考平面的情況下,對測量結(jié)果進(jìn)行分析。（3）為了標(biāo)定接觸非接觸型兩用表面形貌測量儀器在XYZ三個坐標(biāo)軸上的放大系數(shù)、線性度、垂直度,利用測量儀器接觸式和非接觸式兩部分分別對不同階梯... 

【文章來源】：湖北汽車工業(yè)學(xué)院湖北省

【文章頁數(shù)】：75 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
ABSTRACT
第1章 緒論
    1.1 課題來源
    1.2 課題研究背景及意義
    1.3 標(biāo)定的國內(nèi)外研究現(xiàn)狀
    1.4 標(biāo)定量具介紹
        1.4.1 標(biāo)定量具基本概念
        1.4.2 標(biāo)定量具研究現(xiàn)狀
    1.5 論文主要研究內(nèi)容
第2章 測量儀器噪聲和殘余平面度標(biāo)定
    2.1 實驗儀器介紹及其基本原理
        2.1.1 實驗儀器介紹
        2.1.2 實驗儀器基本原理
    2.2 測量儀器噪聲標(biāo)定分析
        2.2.1 測量儀器噪聲來源
        2.2.2 相減法
        2.2.3 平均法
        2.2.4 實驗結(jié)果分析
    2.3 測量殘余平面度標(biāo)定分析
        2.3.1 殘余平面度的來源和處理方法
        2.3.2 殘余平面度標(biāo)定實驗設(shè)計
    2.4 本章小結(jié)
第3章 測量儀器的放大率、線性度和垂直度標(biāo)定
    3.1 放大率、線性度和垂直度標(biāo)定定義
    3.2 測量儀器的Z軸尺度標(biāo)定分析
        3.2.1 Z軸尺度標(biāo)定基本概念
        3.2.2 Z軸尺度標(biāo)定實驗設(shè)計
        3.2.3 實驗數(shù)據(jù)處理
        3.2.4 擴展Z軸尺度標(biāo)定方法
    3.3 測量儀器的XY軸尺度標(biāo)定
        3.3.1 XY軸尺度標(biāo)定基本概念
        3.3.2 XY軸尺度標(biāo)定實驗設(shè)計
        3.3.3 實驗數(shù)據(jù)處理
    3.4 本章小結(jié)
第4章 測量儀器分辨率標(biāo)定
    4.1 測量儀器分辨率標(biāo)定基本概念
    4.2 測量儀器分辨率標(biāo)定分析
        4.2.1 橫向周期極限分析
        4.2.2 分辨率標(biāo)定方法介紹
        4.2.3 分辨率標(biāo)定具體步驟
    4.3 本章小結(jié)
第5章 總結(jié)與展望
    5.1 總結(jié)
    5.2 展望
致謝
參考文獻(xiàn)
附錄1 攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表的論文
附錄2 攻讀碩士學(xué)位期間參加的科研項目


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]標(biāo)準(zhǔn)偏差和平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差探討[J]. 李啟華,余錦,劉菊英.  金屬材料與冶金工程. 2013(05)
[2]基于白光干涉的MEMS三維表面形貌測量[J]. 常素萍,謝鐵邦.  華中科技大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版). 2007(09)
[3]WI VS三維表面形貌測量儀[J]. 常素萍,謝鐵邦.  計量技術(shù). 2006(12)

博士論文
[1]基于白光干涉的表面形貌接觸和非接觸兩用測量系統(tǒng)的研究[D]. 鄖建平.華中科技大學(xué) 2008

碩士論文
[1]基于垂直位移掃描的表面輪廓綜合測量儀[D]. 孫艷玲.華中科技大學(xué) 2006



本文編號：3437843