根據(jù)雙軸電熱機械MEMS微鏡的熱力學(xué)、機械振動、頻率響應(yīng)和光學(xué)動態(tài)掃描圖形分析,考慮驅(qū)動臂軸間交叉耦合情況,建立了雙軸電熱機械MEMS微鏡的驅(qū)動臂交叉耦合模型。通過Matlab/Simulink對微鏡系統(tǒng)模型進行仿真,并模擬了雙軸電熱機械MEMS微鏡單個驅(qū)動臂和兩個驅(qū)動臂的光學(xué)動態(tài)掃描模式。將仿真圖形與雙軸電熱機械MEMS微鏡動態(tài)掃描的實際情況進行對比,結(jié)果表明該模型有效仿真出雙軸電熱機械MEMS微鏡的光學(xué)動態(tài)掃描模式,達到預(yù)測該微鏡光學(xué)動態(tài)掃描圖形的目的。 

【文章來源】：浙江理工大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版). 2020,43(03)

【文章頁數(shù)】：7 頁

【文章目錄】：
0 引 言
1 雙軸電熱機械MEMS微鏡的結(jié)構(gòu)
2 雙軸電熱機械MEMS微鏡建模
    2.1 電熱機械模型
    2.2 考慮驅(qū)動臂軸間交叉耦合的雙軸電熱機械MEMS微鏡模型
3 仿真實驗及結(jié)果分析
    3.1 單個驅(qū)動臂的頻率響應(yīng)分析
    3.2 單個和兩個驅(qū)動臂掃描圖形分析
4 結(jié) 論



本文編號：3429057