發(fā)布時(shí)間：2021-10-09 21:55

　　薄膜鉑熱電阻具有產(chǎn)品體積小、測(cè)量精度高等優(yōu)點(diǎn),在工業(yè)、農(nóng)業(yè)、航空、航天等各個(gè)領(lǐng)域的溫度高精度測(cè)量系統(tǒng)中廣泛應(yīng)用。電磁波的耦合輻射廣泛存在于測(cè)控電路中,形成電磁干擾空間環(huán)境,影響各類電子元器件工作性能,薄膜鉑熱電阻如何能夠?qū)崿F(xiàn)有效抑制空間環(huán)境中電磁干擾,是實(shí)現(xiàn)在外界電磁干擾環(huán)境下溫度精確測(cè)量的技術(shù)難點(diǎn)之一。本文針對(duì)現(xiàn)有薄膜鉑熱電阻抗電磁干擾能力較弱的問(wèn)題,提出電磁場(chǎng)環(huán)境下精確測(cè)溫的解決方案�；陔姶鸥袘�(yīng)原理,將薄膜鉑熱電阻視為傳統(tǒng)繞線型傳感器二維微小的變體形式,建立無(wú)感結(jié)構(gòu)模型,利用雙線并行布線技術(shù),減小電磁場(chǎng)對(duì)感溫元件的干擾,對(duì)產(chǎn)品結(jié)構(gòu)進(jìn)行仿真分析,設(shè)計(jì)敏感電阻柵線寬30μm,鉑膜厚度1.5μm～2μm,分析陶瓷基片和高純鉑靶等重要原材料對(duì)產(chǎn)品性能影響并對(duì)其進(jìn)行優(yōu)選,對(duì)鉑膜制備、精細(xì)刻蝕、陶瓷激光打孔、包封燒結(jié)鈍化和激光調(diào)阻關(guān)鍵工藝方法進(jìn)行研究,明確各項(xiàng)工藝方法工藝參數(shù)指標(biāo),實(shí)現(xiàn)無(wú)感結(jié)構(gòu)薄膜鉑熱電阻研制,同時(shí),搭建測(cè)試系統(tǒng),對(duì)產(chǎn)品各項(xiàng)指標(biāo)進(jìn)行分析。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:采用雙線并繞結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的薄膜鉑熱電阻在阻值精度、溫度系數(shù)、絕緣電阻、響應(yīng)時(shí)間、重復(fù)性等技術(shù)指標(biāo)上與常規(guī)薄膜鉑熱電阻指標(biāo)相近,滿足... 

【文章來(lái)源】：哈爾濱工業(yè)大學(xué)黑龍江省 211工程院校 985工程院校

【文章頁(yè)數(shù)】：68 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

德國(guó)賀利氏公司產(chǎn)品電阻條分布

哈爾濱工業(yè)大學(xué)工程碩士學(xué)位論文-3-表1-1（續(xù)）性能指標(biāo)鉑熱電阻(PRTD)熱敏電阻(NTC)熱敏電阻（KTY）測(cè)溫誤差、穩(wěn)定性額定電阻誤差：+500°C時(shí)1000h之后為0.04%額定電阻誤差：150°C時(shí)100h之后為0.35%額定電阻誤差：150°C時(shí)1250h之后為0.45%精確度DINEN60751的精確度，B級(jí)+100°C時(shí)為±0.21%，+500°C時(shí)為±0.33%平均電阻精確度為±1%，高于狹小的溫度范圍±0.2°C平均精確度為±5%，最高電阻精確度：±0.5%分辨率在整個(gè)測(cè)量溫度范圍,信號(hào)靈敏度保持一致，例如1000Ω時(shí)，>4Ω/℃信號(hào)靈敏度高，但僅限于一定溫度區(qū)間信號(hào)靈敏度高，大約為15Ω/℃封裝形式帶連接導(dǎo)線的基本元件，條形SMD類型環(huán)氧樹(shù)脂或玻璃外殼；二極管組件，SMD類型玻璃外殼，SMD和二極管組件圖1-2各類敏感元件溫度特性曲線對(duì)比常見(jiàn)的鉑熱電阻分為玻璃封裝型、云母型、陶瓷封裝型和薄膜型。玻璃封裝型鉑電阻：將鉑絲纏繞在玻璃棒上，調(diào)整電阻0℃時(shí)的阻值，然后放入玻璃套管內(nèi)。其結(jié)構(gòu)示意圖如圖1-3所示[10]。圖1-3玻璃封裝型鉑電阻結(jié)構(gòu)示意圖云母型鉑電阻：把鉑絲纏繞在兩側(cè)帶有溝槽的云母板上，再將其夾在云母

哈爾濱工業(yè)大學(xué)工程碩士學(xué)位論文-3-表1-1（續(xù)）性能指標(biāo)鉑熱電阻(PRTD)熱敏電阻(NTC)熱敏電阻（KTY）測(cè)溫誤差、穩(wěn)定性額定電阻誤差：+500°C時(shí)1000h之后為0.04%額定電阻誤差：150°C時(shí)100h之后為0.35%額定電阻誤差：150°C時(shí)1250h之后為0.45%精確度DINEN60751的精確度，B級(jí)+100°C時(shí)為±0.21%，+500°C時(shí)為±0.33%平均電阻精確度為±1%，高于狹小的溫度范圍±0.2°C平均精確度為±5%，最高電阻精確度：±0.5%分辨率在整個(gè)測(cè)量溫度范圍,信號(hào)靈敏度保持一致，例如1000Ω時(shí)，>4Ω/℃信號(hào)靈敏度高，但僅限于一定溫度區(qū)間信號(hào)靈敏度高，大約為15Ω/℃封裝形式帶連接導(dǎo)線的基本元件，條形SMD類型環(huán)氧樹(shù)脂或玻璃外殼；二極管組件，SMD類型玻璃外殼，SMD和二極管組件圖1-2各類敏感元件溫度特性曲線對(duì)比常見(jiàn)的鉑熱電阻分為玻璃封裝型、云母型、陶瓷封裝型和薄膜型。玻璃封裝型鉑電阻：將鉑絲纏繞在玻璃棒上，調(diào)整電阻0℃時(shí)的阻值，然后放入玻璃套管內(nèi)。其結(jié)構(gòu)示意圖如圖1-3所示[10]。圖1-3玻璃封裝型鉑電阻結(jié)構(gòu)示意圖云母型鉑電阻：把鉑絲纏繞在兩側(cè)帶有溝槽的云母板上，再將其夾在云母

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]退火工藝對(duì)薄膜型鉑電阻熱阻特性的影響探究[J]. 王金鵬,周晨飛,梁軍生,王大志,任同群.  機(jī)電工程技術(shù). 2019(08)
[2]水輪發(fā)電機(jī)測(cè)溫元件應(yīng)用研究[J]. 溫興利.  東方電氣評(píng)論. 2018(04)
[3]聚酰亞胺柔性溫度傳感器的制作與性能測(cè)試[J]. 何柳豐,竇文堃,劉軍山.  機(jī)電工程技術(shù). 2018(11)
[4]基于納米裂紋的超高靈敏度柔性溫度傳感器[J]. 初永志,郭洪吉,尹鵬和,劉軍山.  機(jī)電工程技術(shù). 2018(11)
[5]無(wú)線通信電磁干擾與防治關(guān)鍵技術(shù)研究[J]. 張飛,王曉.  數(shù)字通信世界. 2018(10)
[6]陽(yáng)極層離子源的發(fā)展及應(yīng)用[J]. 冉彪,李劉合.  真空. 2018(05)
[7]雙線反向并繞結(jié)構(gòu)的四相無(wú)刷直流電機(jī)[J]. 夏燈啟.  輕工機(jī)械. 2014(05)
[8]水輔助激光刻蝕氧化鋁陶瓷的研究[J]. 孔令瑞,張菲,段軍,羅瑞峰,曾曉雁.  激光技術(shù). 2014(03)
[9]高靈敏度鉑薄膜熱敏電阻器精細(xì)刻蝕技術(shù)研究[J]. 姜國(guó)光,王震,張洪泉,王大興.  傳感器與微系統(tǒng). 2013(03)
[10]基于厚膜混合集成電路的激光調(diào)阻工藝研究[J]. 王姜伙,王志勤.  電子與封裝. 2012(11)

博士論文
[1]激光調(diào)阻的阻值關(guān)系研究及其控制策略分析[D]. 王志娟.中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所） 2005



本文編號(hào)：3427069