光學面形的檢測精度直接影響成像系統(tǒng)的性能,對基于計算全息的補償干涉檢測技術進行了研究,針對共軸計算全息的衍射波面在成像中心區(qū)域發(fā)生重疊,形成測試盲區(qū)這一問題,采用離軸計算設計方案對非球面的面形進行測量,檢測方案采用分光路干涉結構,用離軸計算全息和會聚透鏡組構成聯(lián)合補償器對波面進行零位補償并分離衍射級次,完成非球面面形的干涉檢測.結果表明,該方案能夠消除測試盲區(qū),同時測得全口徑面形數(shù)據(jù),并保持了良好的精度. 

【文章來源】：遼寧大學學報(自然科學版). 2020,47(04)

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【部分圖文】：

零位補償干涉測試示意圖

其中，r2=x2+y2,c=1/R0,R0=156.47 mm,k=0,A4=2.322 15×10-8,A6=2.541 66×10-12通過三點法計算可得該非球面的最佳擬合球面半徑為154.46 mm，法向最大偏離量為0.017 6 mm，非球面設計面形與最佳擬合球面之間的偏差如圖2所示，其中最大偏離位置約位于0.070環(huán)帶．

測試方案采用泰曼-格林分光路干涉結構，搭配離軸CGH完成相位補償，如圖3所示．在圖3中，激光器發(fā)出的光線首先進行擴束，然后由準直系統(tǒng)調制成平行光，經(jīng)過分光后光束形成反射光和透射光兩束出射光線，其中反射光垂直入射參考球面，反射后穿過分光鏡形成參考波面，另一束透射光穿過透鏡組，形成標準球面波并入射到非球面表面，反射回來穿過分光鏡形成測試波面，離軸CGH放在成相臂，位于成像透鏡組前方，對衍射波面進行濾波，選取參考光0級和測試光-1級作為工作級次，相遇后形成干涉圖，分析干涉圖即可獲得非球面與理想面形之間的數(shù)據(jù)偏差分布．

【參考文獻】：
期刊論文
[1]基于干涉法的非球面測量技術[J]. 郝群,寧妍,胡搖.  計測技術. 2018(01)



本文編號：3371181