<正>對于低精度電感比較儀誤差的檢定,典型的方法有立柱法、微動臺架法和外力法、塊規(guī)法。這些方法會引入大于0.05μm的誤差,故在檢定高精度電感比較儀時,為降低測量誤差,筆者制作了一種回零準(zhǔn)確度可達(dá)0.02μm的三坐標(biāo)檢具。一、裝置原理三坐標(biāo)檢具由兩組雙片簧垂直配置而成,利用片簧的變形分別實現(xiàn)X軸方向和Y軸方向的位移,如圖1所示。當(dāng)測頭裝卡在Z軸方向時,推動或拉動上平行 

【文章來源】：中國計量. 2020,(07)

【文章頁數(shù)】：2 頁

【部分圖文】：

結(jié)構(gòu)原理

回程誤差的檢定


本文編號：3349658