針對實驗室條件下9J光切顯微鏡測量自動化程度不高、測量效率低、測量誤差大的問題,該文對9J光切顯微鏡的載物臺進行了測繪和建模,對其機械部分進行了改進設(shè)計,提出了以光切法測量表面粗糙度為基礎(chǔ),通過單片機驅(qū)動步進電機控制載物臺X、Y方向及儀器主體Z軸方向的運動,并將CCD光電耦合器件與原顯微鏡結(jié)合,實現(xiàn)了測量數(shù)據(jù)的采集和處理。對比原9J顯微鏡測量過程:改進后的儀器自動化程度高、降低了操作人員勞動強度、提高了表面粗糙度測量精度。 

【文章來源】：工業(yè)儀表與自動化裝置. 2020,(06)

【文章頁數(shù)】：4 頁

【部分圖文】：

9J光切顯微鏡結(jié)構(gòu)示意圖

式中：lr為取樣長度；Zx為輪廓上各點到中線的距離；Zpmax為最大峰高；Zpmin為最大谷深。相比而言，Ra評定的更為全面，但需找取樣長度內(nèi)若干個點；RZ僅需找到一個取樣長度內(nèi)最大輪廓峰高和最大輪廓谷深（即最高和最低點），測量過程簡便。

光切顯微鏡的物鏡組是與儀器主軸成45°的2個物鏡組成的，如圖3(a）所示。被測表面的輪廓最大高度值RZ為最高點與最低點之間的距離為h，當(dāng)儀器光源從一端45°物鏡發(fā)出的平行光照射到被測表面上時，就被折成S1和S2兩段（圖3(b）），反射后經(jīng)另一45°物鏡，可在顯微鏡目鏡中觀察到S1和S2兩段光帶被放大的像，可用測微目鏡測得放大后光帶的最高點S1和最低點S2之間的距離，再根據(jù)放大關(guān)系就可算出RZ值[4]。如圖3(a）所示，工件表面的輪廓最大高度即工件表面上被照亮了的h的放大輪廓像為N，測量亮帶邊緣的寬度N，可求出被測表面的不平度高度h:

【參考文獻】：
期刊論文
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碩士論文
[1]表面粗糙度測量儀的改進設(shè)計[D]. 左金寶.上海交通大學(xué) 2009



本文編號：3347968