<正>近日,由國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局組織實(shí)施的"跨尺度微納米測(cè)量?jī)x的開發(fā)和應(yīng)用""質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)質(zhì)譜儀器研制及應(yīng)用示范""銫原子噴泉基準(zhǔn)鐘的開發(fā)和應(yīng)用""微膜泵驅(qū)動(dòng)核酸微全分析儀"4項(xiàng)國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)項(xiàng)目通過驗(yàn)收。"跨尺度微納米測(cè)量?jī)x的開發(fā)和應(yīng)用"項(xiàng)目由上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院牽頭承擔(dān),項(xiàng)目攻克了宏微聯(lián)動(dòng)多軸驅(qū)動(dòng)和多測(cè)頭集成、原子沉積光柵納米量值溯源、雙角度傾斜式場(chǎng)掃描等關(guān)鍵技術(shù),研制出6種不同型號(hào)的跨尺度微 

【文章來源】：鐵道技術(shù)監(jiān)督. 2020,48(01)

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本文編號(hào)：3340146