目前的商用自準(zhǔn)直儀并不滿足納米光學(xué)測量儀（NOM）利用細(xì)光束進(jìn)行測量的要求,大口徑細(xì)光束模式下的自準(zhǔn)直測量系統(tǒng)存在各種誤差。為了滿足自準(zhǔn)直測量系統(tǒng)的高精度要求,根據(jù)自準(zhǔn)直測量原理,對(duì)大口徑細(xì)光束自準(zhǔn)直測量系統(tǒng)中CCD陣面與f-theta透鏡焦平面不重合引入的誤差進(jìn)行了歸納分析,并通過相關(guān)實(shí)驗(yàn)對(duì)誤差的線性關(guān)系進(jìn)行了驗(yàn)證,結(jié)果證明理論計(jì)算與實(shí)驗(yàn)結(jié)果具有良好的一致性。 

【文章來源】：半導(dǎo)體光電. 2020,41(03)北大核心

【文章頁數(shù)】：6 頁

【部分圖文】：

CCD離焦誤差隨測量角度的變化

式（6）是對(duì)CCD陣面與準(zhǔn)直物鏡焦平面不重合的誤差公式，可以看到當(dāng)α=0時(shí)，該式會(huì)變回CCD單獨(dú)離焦的誤差關(guān)系式，當(dāng)d=0時(shí)，則會(huì)變回CCD姿態(tài)偏轉(zhuǎn)時(shí)的誤差關(guān)系式。當(dāng)CCD離焦量d=0.05mm且CCD姿態(tài)偏轉(zhuǎn)角α=3mrad時(shí)，誤差隨測量角度和工作距離的變化如圖2所示，可以看到，在兩種誤差疊加時(shí)，誤差隨著測量角度和工作距離的變化是線性的。

當(dāng)CCD離焦量d=0.05mm且CCD姿態(tài)偏轉(zhuǎn)角α=3mrad時(shí)，誤差隨測量角度和工作距離的變化如圖2所示，可以看到，在兩種誤差疊加時(shí)，誤差隨著測量角度和工作距離的變化是線性的。由圖2可知，當(dāng)焦距為500mm，工作距離L為0～1 000mm，測量角度θ為0～3mrad時(shí)，引入的最大測量誤差Δ1不超過400nrad。

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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碩士論文
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本文編號(hào)：3280234