發(fā)布時(shí)間：2021-07-08 21:50

　　梳齒電容是微電子機(jī)械系統(tǒng)中所廣泛使用的結(jié)構(gòu),在微納力測(cè)量裝置中具有重要作用。針對(duì)微納力測(cè)量裝置中所使用的不同梳齒結(jié)構(gòu),利用數(shù)值模擬的方法,分析了不同形狀梳齒作為微納力測(cè)量裝置時(shí),在不同相對(duì)位置對(duì)微納力測(cè)量結(jié)果的影響。研究結(jié)果表明,加載電壓、梳齒相交長(zhǎng)度以及梳齒間距偏移對(duì)不同梳齒形狀的微納力測(cè)量裝置輸出的影響明顯不同,各梳齒形狀輸出微納力的變化特性為微納力測(cè)量裝置的設(shè)計(jì)與制造提供了科學(xué)依據(jù)。 

【文章來(lái)源】：安慶師范大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版). 2020,26(02)

【文章頁(yè)數(shù)】：4 頁(yè)

【部分圖文】：

不同梳齒形狀微納力測(cè)量結(jié)構(gòu)

從圖3中還可以發(fā)現(xiàn)，不同類型梳齒微納力測(cè)量裝置輸出微納力隨梳齒相交長(zhǎng)度的變化所呈現(xiàn)出的變化趨勢(shì)有明顯區(qū)別。當(dāng)梳齒相交長(zhǎng)度減小時(shí)，1#梳齒輸出微納力值（絕對(duì)值）先略有增大，然后基本保持穩(wěn)定；2#梳齒的輸出力值隨相交長(zhǎng)度減小迅速降低，且降低速度隨相交長(zhǎng)度的減小逐漸變緩；3#梳齒的輸出微納力變化最為復(fù)雜，當(dāng)相交長(zhǎng)度由9 mm（ΔY=-4 mm）減小至7 mm（ΔY=-2 mm）時(shí)，輸出微納力逐漸減小至零，當(dāng)相交長(zhǎng)度繼續(xù)減小時(shí)，輸出微納力方向發(fā)生改變，且力值逐漸增大。通過(guò)三種形狀梳齒輸出曲線的比較還可發(fā)現(xiàn)，在本文研究的工況條件下，僅3#梳齒在相交長(zhǎng)度為[-9 mm,-7 mm]區(qū)間內(nèi)輸出沿Y軸正方向的微納力。在其他情況下，各形狀梳齒輸出的均為沿Y軸負(fù)方向的微納力。圖3 梳齒相交長(zhǎng)度對(duì)微納力測(cè)量裝置輸出的影響

梳齒相交長(zhǎng)度對(duì)微納力測(cè)量裝置輸出的影響


本文編號(hào)：3272397