掃描探針顯微鏡在現(xiàn)代醫(yī)療、物理、化學(xué)等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛,其微納結(jié)構(gòu)深度測量也因此得到普遍關(guān)注。文章嘗試分析掃描探針顯微鏡下微納結(jié)構(gòu)深度測量的校準(zhǔn)方法,首先以機(jī)械探針、光學(xué)探針建立模擬實(shí)驗(yàn),再結(jié)合結(jié)果分析影響測量精度的因素,最后據(jù)此分析校準(zhǔn)方法,給出運(yùn)用自動(dòng)化技術(shù)、容錯(cuò)技術(shù)等內(nèi)容。 

【文章來源】：科技創(chuàng)新與應(yīng)用. 2020,(08)

【文章頁數(shù)】：2 頁

【部分圖文】：

樣本鏡面反射

【參考文獻(xiàn)】：
碩士論文
[1]高頻復(fù)合超聲掃描探針顯微鏡系統(tǒng)研制及應(yīng)用研究[D]. 陳曉惠.華中科技大學(xué) 2016
[2]基于視覺檢測的原子力顯微鏡探針自動(dòng)定位技術(shù)研究[D]. 劉靜怡.沈陽理工大學(xué) 2016



本文編號(hào)：3270297