深紫外、極紫外光刻、先進(jìn)光源等現(xiàn)代光學(xué)工程牽引驅(qū)動(dòng)超精密光學(xué)技術(shù)持續(xù)發(fā)展,超精密光學(xué)制造要求與之精度相匹配的超高精度檢測(cè)技術(shù)。作為核心技術(shù)指標(biāo)之一的面形精度通常要求達(dá)到納米、深亞納米甚至幾十皮米量級(jí),超高精度面形干涉檢測(cè)技術(shù)挑戰(zhàn)技術(shù)極限,具有重要研究意義和應(yīng)用價(jià)值。本文分析了面形干涉檢測(cè)技術(shù)發(fā)展趨勢(shì),主要介紹了中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所近年來在超高精度面形干涉檢測(cè)技術(shù)相關(guān)研究進(jìn)展。 

【文章來源】：光電工程. 2020,47(08)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：13 頁

【部分圖文】：

面形精度需求變化[2]

圖1 面形精度需求變化[2]本文分析了面形干涉檢測(cè)技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)，主要介紹了中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所近年來在超高精度面形干涉檢測(cè)的技術(shù)相關(guān)研究進(jìn)展，主要包括重復(fù)精度及復(fù)現(xiàn)精度提升方法、絕對(duì)檢測(cè)技術(shù)、高次非球面CGH補(bǔ)償檢測(cè)技術(shù)、重力變形補(bǔ)償方法以及不確定度評(píng)估等關(guān)鍵技術(shù)。

精密支撐有限元仿真分析

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]裝夾自重變形對(duì)大口徑絕對(duì)面形檢測(cè)的影響[J]. 趙思偉,田愛玲,王大森,劉丙才,朱學(xué)亮,劉衛(wèi)國(guó).  光子學(xué)報(bào). 2018(02)
[2]高精度光學(xué)元件支撐裝置面形復(fù)現(xiàn)性分析與測(cè)量[J]. 王輝,周烽,王麗萍,于杰,金春水.  中國(guó)激光. 2013(12)

博士論文
[1]基于光線追跡和特征函數(shù)的非球面干涉檢測(cè)系統(tǒng)建模及應(yīng)用研究[D]. 何一葦.中國(guó)科學(xué)院大學(xué)(中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所) 2018
[2]干涉面形絕對(duì)檢測(cè)不確定度評(píng)估方法研究[D]. 全海洋.中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所 2017
[3]基于平移旋轉(zhuǎn)的球面絕對(duì)檢測(cè)技術(shù)研究[D]. 宋偉紅.中國(guó)科學(xué)院研究生院（光電技術(shù)研究所） 2014



本文編號(hào)：3261793