包括平面、球面、非球面與自由曲面在內(nèi)的光學(xué)元件為現(xiàn)代工業(yè)和科學(xué)提供了強(qiáng)大動(dòng)力。從日常生活中的眼鏡、相機(jī)、投影儀到半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的頂層設(shè)備光刻機(jī)、生產(chǎn)清潔能源的核聚變反應(yīng)裝置乃至用以探索宇宙的太空望遠(yuǎn)鏡,光學(xué)元件的應(yīng)用無處不在。光學(xué)元件高精度、大口徑與輕量化的新要求不斷向光學(xué)元件制造產(chǎn)業(yè)提出新的挑戰(zhàn)。現(xiàn)代光學(xué)元件制造產(chǎn)業(yè)對(duì)于精度與效率的追求向精密測(cè)量技術(shù)提出了高精度、非接觸、大范圍、高效率與通用性好的新要求。光學(xué)元件非接觸式坐標(biāo)測(cè)量技術(shù)作為坐標(biāo)測(cè)量技術(shù)的新形式,綜合了非接觸式測(cè)量的高效率、高精度、無損傷與坐標(biāo)測(cè)量技術(shù)的通用性,在現(xiàn)代光學(xué)元件銑磨階段與研磨階段的測(cè)量中展現(xiàn)出巨大潛力。本課題針對(duì)非接觸式坐標(biāo)掃描測(cè)量技術(shù)的軌跡規(guī)劃、探頭對(duì)心等共性需求,在現(xiàn)有的坐標(biāo)測(cè)量硬件基礎(chǔ)上開發(fā)了專用測(cè)控軟件,針對(duì)圓柱坐標(biāo)掃描測(cè)量中普遍存在的對(duì)心問題開發(fā)了對(duì)心技術(shù),評(píng)估了系統(tǒng)的測(cè)量不確定度,并對(duì)表面疵病檢測(cè)技術(shù)開展了研究。具體內(nèi)容包括:1.介紹了光學(xué)元件的應(yīng)用、加工、面形種類與評(píng)價(jià)指標(biāo),對(duì)比了干涉測(cè)量、探針式掃描測(cè)量與坐標(biāo)測(cè)量的特點(diǎn),分析了非接觸式坐標(biāo)測(cè)量的國(guó)內(nèi)外發(fā)展概況,并提出了論文的研究意義與研究?jī)?nèi)容。2.... 

【文章來源】：浙江大學(xué)浙江省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：89 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖１．４光學(xué)元件的幾何偏差??、

干涉測(cè)量引入了相位調(diào)制技術(shù)，通過移相干涉測(cè)量對(duì)干涉條紋進(jìn)行動(dòng)態(tài)處理，可??以有效抑制噪聲、提高精度與動(dòng)態(tài)性能［２５１。干涉儀的代表生產(chǎn)商是美國(guó)Ａｍｅｔｅｋ??公司旗下的Ｚｙｇｏ公司，圖１．５為Ｚｙｇｏ公司的Ｖｅｒｉｆｉｒｅ型號(hào)干涉儀。??（ａ）?（ｂ）??圖１．５?（ａ）?Ｚｙｇｏ公司Ｖｅｒｉｆｉｒｅ球面干涉儀；（ｂ）干涉測(cè)量裝置實(shí)物??６??

一種特殊的情況。在二次非球面中存在一對(duì)無相差的共軛點(diǎn)，即從一個(gè)共軛點(diǎn)發(fā)??射出的球面波經(jīng)過二次非球面反射后會(huì)聚焦在另一個(gè)共軛點(diǎn)上。通過特殊的光路??配置可以利用二次非球面的共軛點(diǎn)實(shí)現(xiàn)非零位干涉測(cè)量。圖１．６為球面、拋物面、??雙曲面與橢球面的零位干涉測(cè)量的典型光路配置。???１參考鏡凹球面鏡???ｉ?參考鏡拋物面鏡??ｉ?Ｉ?Ｉ－??（ａ）?（ｂ）????參考鏡雙曲面鏡???參考鏡橢球面鏡??Ｈａ＃、．?Ｅ５＆Ｃ１－??（ｃ）?（ｄ）??圖１．６零位干涉測(cè)量（ａ）球面；（ｂ）拋物面；（ｃ）雙曲靣；（ｄ）橢球面??除了二次非球面零位測(cè)量技術(shù)外，零位干涉測(cè)量技術(shù)還衍生出了補(bǔ)償檢驗(yàn)技??術(shù)與計(jì)算機(jī)生成全息圖測(cè)試技術(shù)（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ?Ｇｅｎｅｒａｔｅｄ?Ｈｏｌｏｇｒａｍ，ＣＧＨ?）。補(bǔ)償檢??７??

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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博士論文
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[4]金剛石切削微納結(jié)構(gòu)的高精度在位測(cè)量關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 朱吳樂.浙江大學(xué) 2016
[5]光學(xué)曲面在位測(cè)量關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 顧天奇.吉林大學(xué) 2014
[6]面向微結(jié)構(gòu)陣列的超精密切削加工與測(cè)量關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 陳遠(yuǎn)流.浙江大學(xué) 2014
[7]光學(xué)非球面坐標(biāo)測(cè)量關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 賈立德.國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué) 2008
[8]數(shù)字波面干涉技術(shù)及其應(yīng)用研究[D]. 何勇.南京理工大學(xué) 2003

碩士論文
[1]大尺寸光學(xué)元件面形檢測(cè)平臺(tái)開發(fā)及誤差補(bǔ)償研究[D]. 楊峰.廈門大學(xué) 2014



本文編號(hào)：3251875