為了進一步提高超精密慢刀伺服車削微透鏡陣列的加工精度,采用實驗的方法,通過分組加工法加工了矩形口徑微透鏡陣列和六邊形口徑微透鏡陣列,分析了不同微透鏡口徑對超精密慢刀伺服車削微透鏡陣列的位置精度的影響。實驗結果表明:六邊形口徑微透鏡陣列的位置精度更好,且位置精度波動比矩形口徑微透鏡陣列要小,其整體位置精度范圍為0.3～2.1 μm,第一圈位置精度范圍為1.7～1.9 μm,第二圈位置精度范圍為0.3～1.2 μm,中心透鏡對四周的位置誤差范圍為1.5～2.1 μm。 

【文章來源】：組合機床與自動化加工技術. 2020,(08)北大核心

【文章頁數】：4 頁

【部分圖文】：

矩形排布的微透鏡陣列

矩形區(qū)域中心為透鏡中心,并且所有矩形區(qū)域的邊長為Llens,Rlens為球半徑,Hlens為球冠高,通過透鏡曲面方程可計算出陣列表面上任意一點P的Z坐標值。此時P點的三維坐標值可通過式(1)計算得。根據方程仿真的數學模型如圖2所示。1.2 六邊形口徑微透鏡陣列

六邊形排布微透鏡陣列中每個微透鏡占據一個等邊六邊形區(qū)域,如圖3所示。為提高計算效率,參考四邊形排布微透鏡陣列計算中心點的思路,將X-Y平面劃分為一系列的矩形區(qū)域,其中任意一個矩形均分布于兩個相鄰正六邊形區(qū)域內部,矩形的對角頂點分別與所在的正六邊形區(qū)域中心重合;仿照四邊形透鏡陣列中心點的計算方法,根據矩形的長來確定投影點所在矩形對應的相鄰正六邊形中心點的x坐標值。再根據文獻[12]的數學模型仿真如圖4所示。圖4 六邊形排布的微透鏡陣列數學仿真

【參考文獻】：
期刊論文
[1]基于微透鏡陣列勻束的激光二極管面陣抽運耦合系統分析[J]. 嚴雄偉,王振國,蔣新穎,鄭建剛,李敏,荊玉峰.  物理學報. 2018(18)
[2]基于超精密復眼加工的光場成像研究[J]. 陳增源,李莉華,李榮彬,袁偉,劉亞輝.  機械工程學報. 2016(17)

博士論文
[1]非回轉對稱微結構表面超精車削軌跡生成及形狀誤差評價[D]. 周京博.哈爾濱工業(yè)大學 2013



本文編號：3239912