為了進(jìn)一步提高超精密慢刀伺服車(chē)削微透鏡陣列的加工精度,采用實(shí)驗(yàn)的方法,通過(guò)分組加工法加工了矩形口徑微透鏡陣列和六邊形口徑微透鏡陣列,分析了不同微透鏡口徑對(duì)超精密慢刀伺服車(chē)削微透鏡陣列的位置精度的影響。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:六邊形口徑微透鏡陣列的位置精度更好,且位置精度波動(dòng)比矩形口徑微透鏡陣列要小,其整體位置精度范圍為0.3～2.1 μm,第一圈位置精度范圍為1.7～1.9 μm,第二圈位置精度范圍為0.3～1.2 μm,中心透鏡對(duì)四周的位置誤差范圍為1.5～2.1 μm。 

【文章來(lái)源】：組合機(jī)床與自動(dòng)化加工技術(shù). 2020,(08)北大核心

【文章頁(yè)數(shù)】：4 頁(yè)

【部分圖文】：

矩形排布的微透鏡陣列

矩形區(qū)域中心為透鏡中心,并且所有矩形區(qū)域的邊長(zhǎng)為L(zhǎng)lens,Rlens為球半徑,Hlens為球冠高,通過(guò)透鏡曲面方程可計(jì)算出陣列表面上任意一點(diǎn)P的Z坐標(biāo)值。此時(shí)P點(diǎn)的三維坐標(biāo)值可通過(guò)式(1)計(jì)算得。根據(jù)方程仿真的數(shù)學(xué)模型如圖2所示。1.2 六邊形口徑微透鏡陣列

六邊形排布微透鏡陣列中每個(gè)微透鏡占據(jù)一個(gè)等邊六邊形區(qū)域,如圖3所示。為提高計(jì)算效率,參考四邊形排布微透鏡陣列計(jì)算中心點(diǎn)的思路,將X-Y平面劃分為一系列的矩形區(qū)域,其中任意一個(gè)矩形均分布于兩個(gè)相鄰正六邊形區(qū)域內(nèi)部,矩形的對(duì)角頂點(diǎn)分別與所在的正六邊形區(qū)域中心重合;仿照四邊形透鏡陣列中心點(diǎn)的計(jì)算方法,根據(jù)矩形的長(zhǎng)來(lái)確定投影點(diǎn)所在矩形對(duì)應(yīng)的相鄰正六邊形中心點(diǎn)的x坐標(biāo)值。再根據(jù)文獻(xiàn)[12]的數(shù)學(xué)模型仿真如圖4所示。圖4 六邊形排布的微透鏡陣列數(shù)學(xué)仿真

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]基于微透鏡陣列勻束的激光二極管面陣抽運(yùn)耦合系統(tǒng)分析[J]. 嚴(yán)雄偉,王振國(guó),蔣新穎,鄭建剛,李敏,荊玉峰.  物理學(xué)報(bào). 2018(18)
[2]基于超精密復(fù)眼加工的光場(chǎng)成像研究[J]. 陳增源,李莉華,李榮彬,袁偉,劉亞輝.  機(jī)械工程學(xué)報(bào). 2016(17)

博士論文
[1]非回轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)微結(jié)構(gòu)表面超精車(chē)削軌跡生成及形狀誤差評(píng)價(jià)[D]. 周京博.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2013



本文編號(hào)：3239912