由于在傳統(tǒng)的紅外探測器系統(tǒng)中,濾光片與探測器是分立存在的,所以普遍存在"串色"的問題,而實(shí)現(xiàn)濾光片在探測器上的片上集成,可以解決這一問題。為此,國內(nèi)外做了很多研究。論述了國內(nèi)外關(guān)于片上集成濾光微結(jié)構(gòu)的一些研究進(jìn)展。 

【文章來源】：金陵科技學(xué)院學(xué)報(bào). 2020,36(01)

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【部分圖文】：

集成濾光膜探測器

圖3 集成濾光膜探測器2010年法國Sofradir公司設(shè)計(jì)出集成濾光結(jié)構(gòu)的新型紅外探測器,實(shí)現(xiàn)了紅外探測器的小型化。他是在紅外探測器旁邊放置一塊光學(xué)透鏡,這種集成光學(xué)透鏡的紅外探測器可以獨(dú)立成像。

1998年Marcus等制作了RGB三色的微型濾光片陣列,用于多色的傳感器,在其中主要采用了鍍膜、微光刻技術(shù)和干法刻蝕工藝。他們主要是在每次鍍?yōu)V光膜之前先沉積一層停止刻蝕層MgF2,然后鍍?yōu)V光膜,后通過光刻掩膜離子刻蝕形成一個(gè)顏色的通道,重復(fù)三次得到RGB三色微型濾光片陣列如圖1所示。微型濾光片的透射光譜如圖2所示[1]。圖2 三色濾光片的透射光譜

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]CCD彩色濾光片的制備與集成技術(shù)研究[J]. 黃建,向鵬飛,陳紅兵,李仁豪.  半導(dǎo)體光電. 2015(05)
[2]高色散系數(shù)線性漸變?yōu)V光片的研制[J]. 張建,高勁松,李玉東.  光學(xué)精密工程. 2015(05)
[3]基于Fabry-Perot腔陣列光譜傳感器的集成化研究[J]. 張雪靜,溫志渝,王建國,孫建新.  傳感技術(shù)學(xué)報(bào). 2008(01)
[4]基于Fabry-Perot腔陣列的集成化微型光譜儀方案及模擬[J]. 溫志渝,陳剛,王建國.  光譜學(xué)與光譜分析. 2006(10)

博士論文
[1]用于高集成光譜技術(shù)的多層楔形薄膜濾光片研究[D]. 唐昊龍.中國科學(xué)院大學(xué)(中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所) 2019
[2]紅外雙色濾光片的研制及其低溫光譜研究[D]. 蔡淵.中國科學(xué)院大學(xué)(中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所) 2017
[3]集成濾光微結(jié)構(gòu)的InGaAs短波紅外探測器[D]. 王云姬.中國科學(xué)院研究生院（上海技術(shù)物理研究所） 2014



本文編號：3235072