由于激光棒具有細(xì)長(zhǎng)的特殊形貌特征,傳統(tǒng)的雙通測(cè)試方法雖然靈敏度較高,但是往往存在明顯的衍射效應(yīng)和多重成像導(dǎo)致的邊緣黑環(huán),這會(huì)導(dǎo)致有效測(cè)量面積的縮減,對(duì)于小口徑光學(xué)元件的測(cè)量尤為不利。為了克服這一缺陷,采用單通法測(cè)量激光棒的波前畸變,使用直角棱鏡作為反射件,使得測(cè)試光僅通過(guò)激光棒一次,從而減少光路中的等效圓孔數(shù)和成像次數(shù),抑制衍射和邊緣重疊。利用展開(kāi)的多小孔模型討論了衍射效應(yīng)的影響,并且從成像角度討論邊緣重疊的成因,從而得出單通法的優(yōu)勢(shì)。另外,為使參考光與測(cè)試光的匹配,需要將直角棱鏡旋轉(zhuǎn)至少5.40°偏擺角以提高干涉條紋的對(duì)比度。最終測(cè)得激光棒波前畸變的峰谷值為0.068λ,均方根值為0.012λ。 

【文章來(lái)源】：光學(xué)儀器. 2020,42(02)

【文章頁(yè)數(shù)】：6 頁(yè)

【部分圖文】：

單通法原理圖

圖2 雙通法原理圖

單通法測(cè)試結(jié)果

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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碩士論文
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本文編號(hào)：3210072