發(fā)布時(shí)間：2021-05-22 03:24

　　掃描探針顯微鏡主要應(yīng)用于微電子技術(shù)、生物技術(shù)、信息技術(shù)和納米技術(shù)等各種尖端科學(xué)領(lǐng)域,是納米科技發(fā)展的共性關(guān)鍵技術(shù),其位移測(cè)量精度是重要的計(jì)量參數(shù),因而對(duì)其進(jìn)行校準(zhǔn),保證其測(cè)量值準(zhǔn)確可靠尤為重要。本文利用量值可溯源至中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院的二維納米線間隔樣板和納米級(jí)臺(tái)階樣板建立了掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)裝置,實(shí)現(xiàn)對(duì)掃描探針顯微鏡X軸、Y軸、Z軸位移測(cè)量誤差的校準(zhǔn),并對(duì)校準(zhǔn)結(jié)果進(jìn)行了不確定度評(píng)定。 

【文章來(lái)源】：計(jì)量與測(cè)試技術(shù). 2020,47(11)

【文章頁(yè)數(shù)】：4 頁(yè)

【文章目錄】：
0前言
1 掃描探針顯微鏡軸向位移測(cè)量誤差校準(zhǔn)方法
    1.1 標(biāo)準(zhǔn)器
    1.2 X、Y軸位移測(cè)量誤差
    1.3 Z軸位移測(cè)量誤差
2 校準(zhǔn)結(jié)果的不確定度評(píng)定
    2.1 測(cè)量模型
    2.2 不確定度傳播率
    2.3 標(biāo)準(zhǔn)不確定度評(píng)定
        2.3.1 掃描探針顯微鏡的X、Y軸位移測(cè)量誤差校準(zhǔn)結(jié)果不確定度計(jì)算
        3.3.2 掃描探針顯微鏡的Z軸位移測(cè)量誤差校準(zhǔn)結(jié)果不確定度計(jì)算
4 結(jié)束語(yǔ)


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]掃描探針顯微鏡下微納結(jié)構(gòu)深度測(cè)量的校準(zhǔn)方法（英文）[J]. 劉儉,谷康,李夢(mèng)周,由小玉,劉辰光,王宇航,譚久彬.  計(jì)量學(xué)報(bào). 2019(04)
[2]掃描探針顯微技術(shù)及其應(yīng)用[J]. 賀爽博.  電子世界. 2017(20)
[3]掃描探針顯微鏡的控制技術(shù)綜述[J]. 彭超,徐紅兵,張健.  控制理論與應(yīng)用. 2011(03)
[4]掃描探針顯微鏡在粗糙度、納米尺寸、表面形貌觀測(cè)方面的應(yīng)用[J]. 游俊富,王虎,趙海山.  現(xiàn)代科學(xué)儀器. 2003(02)
[5]掃描探針顯微鏡系列及其應(yīng)用綜述[J]. 田文超,賈建援.  西安電子科技大學(xué)學(xué)報(bào). 2003(01)



本文編號(hào)：3200884