掃描探針顯微鏡主要應用于微電子技術(shù)、生物技術(shù)、信息技術(shù)和納米技術(shù)等各種尖端科學領(lǐng)域,是納米科技發(fā)展的共性關(guān)鍵技術(shù),其位移測量精度是重要的計量參數(shù),因而對其進行校準,保證其測量值準確可靠尤為重要。本文利用量值可溯源至中國計量科學研究院的二維納米線間隔樣板和納米級臺階樣板建立了掃描探針顯微鏡校準裝置,實現(xiàn)對掃描探針顯微鏡X軸、Y軸、Z軸位移測量誤差的校準,并對校準結(jié)果進行了不確定度評定。 

【文章來源】：計量與測試技術(shù). 2020,47(11)

【文章頁數(shù)】：4 頁

【文章目錄】：
0前言
1 掃描探針顯微鏡軸向位移測量誤差校準方法
    1.1 標準器
    1.2 X、Y軸位移測量誤差
    1.3 Z軸位移測量誤差
2 校準結(jié)果的不確定度評定
    2.1 測量模型
    2.2 不確定度傳播率
    2.3 標準不確定度評定
        2.3.1 掃描探針顯微鏡的X、Y軸位移測量誤差校準結(jié)果不確定度計算
        3.3.2 掃描探針顯微鏡的Z軸位移測量誤差校準結(jié)果不確定度計算
4 結(jié)束語


【參考文獻】：
期刊論文
[1]掃描探針顯微鏡下微納結(jié)構(gòu)深度測量的校準方法（英文）[J]. 劉儉,谷康,李夢周,由小玉,劉辰光,王宇航,譚久彬.  計量學報. 2019(04)
[2]掃描探針顯微技術(shù)及其應用[J]. 賀爽博.  電子世界. 2017(20)
[3]掃描探針顯微鏡的控制技術(shù)綜述[J]. 彭超,徐紅兵,張健.  控制理論與應用. 2011(03)
[4]掃描探針顯微鏡在粗糙度、納米尺寸、表面形貌觀測方面的應用[J]. 游俊富,王虎,趙海山.  現(xiàn)代科學儀器. 2003(02)
[5]掃描探針顯微鏡系列及其應用綜述[J]. 田文超,賈建援.  西安電子科技大學學報. 2003(01)



本文編號：3200884