發(fā)布時(shí)間：2021-05-18 16:22

　　極板間距與自檢式石英振梁加速度計(jì)的自檢性能密切相關(guān)。過(guò)大的極板間距影響器件的工程化,過(guò)小的極板間距無(wú)法滿足器件工作位移,因此極板間距是設(shè)計(jì)自檢式石英振梁加速度計(jì)的關(guān)鍵。針對(duì)該問(wèn)題,建立了理想靜電驅(qū)動(dòng)模型與吸合模型。通過(guò)理論分析和仿真優(yōu)化,獲取臨界吸合電壓函數(shù)。同時(shí),研究了電壓對(duì)兩種模型加速度的影響,并對(duì)兩者誤差進(jìn)行分析。最終得出極板間距與所能模擬加速度最大值呈現(xiàn)線性關(guān)系。提出了極板間距設(shè)定流程,并證明極板間距為19μm時(shí),自檢式石英振梁加速度計(jì)自檢性能最佳。 

【文章來(lái)源】：傳感器與微系統(tǒng). 2020,39(11)CSCD

【文章頁(yè)數(shù)】：5 頁(yè)

【文章目錄】：
0 引言
1 自檢式石英振梁加速度計(jì)工作原理
2 極板間距模型分析
    2.1 理想靜電驅(qū)動(dòng)模型
    2.2 吸合模型
3 臨界吸合電壓函數(shù)
    3.1 偏轉(zhuǎn)位移差與施加電壓的關(guān)系
    3.2 吸合模型下臨界吸合電壓函數(shù)
    3.3 臨界吸合電壓函數(shù)比對(duì)
4 可控電壓模擬的加速度
    4.1 模擬加速度與電壓的關(guān)系
    4.2 模擬加速度函數(shù)比對(duì)
5 算例分析
6 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]基于諧振梁的加速度計(jì)橫向靈敏度測(cè)試系統(tǒng)[J]. 董蒙蒙,蔡晨光,王穎,劉志華.  計(jì)量技術(shù). 2017 (12)
[2]驅(qū)動(dòng)電極位置對(duì)扭轉(zhuǎn)式靜電微執(zhí)行器Pull-in行程的影響[J]. 方玉明.  微電子學(xué). 2012(02)
[3]靜電吸合對(duì)力平衡式隧道加速度傳感器的影響[J]. 賀學(xué)鋒,溫志渝,溫中泉,王曉蘭.  傳感技術(shù)學(xué)報(bào). 2008(04)
[4]大沖擊后力反饋微加速度計(jì)吸合失效與防止[J]. 萬(wàn)蔡辛,董景新,劉云峰.  中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào). 2007(05)

碩士論文
[1]具有自檢功能的一體式石英振梁加速度計(jì)研究[D]. 趙奚.東南大學(xué) 2018
[2]靜電驅(qū)動(dòng)微梁Pull-in特性尺寸效應(yīng)研究[D]. 蘆非.齊魯工業(yè)大學(xué) 2017
[3]新型一體式石英振梁加速度計(jì)研究[D]. 白鳳蕊.東南大學(xué) 2016
[4]考慮漏電場(chǎng)的扭轉(zhuǎn)式微執(zhí)行器Pull-in機(jī)理分析[D]. 朱文俊.南京郵電大學(xué) 2011



本文編號(hào)：3194107