棱鏡廣泛應(yīng)用于各種光學(xué)系統(tǒng)中。實際應(yīng)用中,僅有部分具有特定角度的棱鏡能夠達(dá)到較高的形位精度,主要受到這類光學(xué)元件加工過程中檢測能力的限制。對一個非特殊夾角的楔形棱鏡,提出粗加工和精加工過程的加工工藝和檢測方法。該楔形棱鏡最終達(dá)到的精度為:有效口徑內(nèi)面形誤差PV值優(yōu)于0.2λ（1λ=632.8nm）,楔角誤差和塔差優(yōu)于5″。結(jié)果表明加工工藝和檢測方法,可以實現(xiàn)楔形棱鏡的高精度制造,對于其他夾角的此類光學(xué)元件制造也能提供有效指導(dǎo)。 

【文章來源】：光學(xué)技術(shù). 2020,46(05)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：6 頁

【文章目錄】：
0 引 言
1 工藝流程
2 粗加工階段工藝
    2.1 基于坐標(biāo)測量的粗加工檢測
    2.2 粗加工工藝
3 精加工階段工藝
    3.1 基于準(zhǔn)直光管的角度測量方法
    3.2 基于確定性拋光的精加工工藝
4 加工實例
5 結(jié) 論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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