為了提高電容式MEMS加速度計(jì)測量精度,設(shè)計(jì)了一種應(yīng)用于MEMS加速度計(jì)微弱信號讀出電路;讀出電路由T型阻容網(wǎng)絡(luò)放大電路、模擬開關(guān)解調(diào)電路和四階帶通濾波電路組成,通過Multisim軟件仿真分析各模塊電路原理并確定影響讀出電路的主要因素,進(jìn)一步優(yōu)化確定元器件最佳參數(shù),最后制作出PCB電路板并開展實(shí)驗(yàn)測試,實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明微弱信號檢測準(zhǔn)確率達(dá)90%以上,能很好地滿足電容式MEMS加速度計(jì)微弱信號檢測要求,同時(shí)該讀出電路具有尺寸小、易調(diào)節(jié)、易于ASIC集成等特點(diǎn),在微機(jī)械儀表的微小電容檢測中有較高的實(shí)用價(jià)值。 

【文章來源】：計(jì)算機(jī)測量與控制. 2020,28(08)

【文章頁數(shù)】：5 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 原理與設(shè)計(jì)
    1.1 T型阻容網(wǎng)絡(luò)放大電路分析與設(shè)計(jì)
        1.1.1 典型電荷放大器電路與T型阻容網(wǎng)絡(luò)放大電路
        1.1.2 T型阻容網(wǎng)絡(luò)放大電路
        1.1.3 T型阻容網(wǎng)絡(luò)放大電路參數(shù)分析
    1.2 解調(diào)電路、帶通濾波電路分析與設(shè)計(jì)
        1.2.1 模擬開關(guān)解調(diào)電路
        1.2.2 四階帶通濾波電路
        1.2.3 四階帶通濾波電路參數(shù)分析
2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析
3 結(jié)束語


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]低噪聲硅微陀螺敏感電容電荷讀出電路設(shè)計(jì)[J]. 盧月娟,徐大誠,郭述文.  傳感器與微系統(tǒng). 2017(01)
[2]MEMS慣性傳感器隨機(jī)誤差分析與去噪研究[J]. 孫淑光,王天游,程鵬,賈昌磊.  計(jì)算機(jī)測量與控制. 2016(03)
[3]基于MEMS傳感器的微慣性導(dǎo)航系統(tǒng)研究[J]. 胡士峰,馬建倉,孟凡路.  計(jì)算機(jī)測量與控制. 2009(05)
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本文編號：3180623