針對(duì)凸非球面大口徑、大相對(duì)孔徑、全口徑檢驗(yàn)難的問(wèn)題,提出了一種利用自準(zhǔn)校正單透鏡檢驗(yàn)凸非球面的方法。該方法通過(guò)在單透鏡的凸面鍍半反半透膜構(gòu)成自準(zhǔn)校正透鏡,校正非球面的球差,從而實(shí)現(xiàn)大口徑凸非球面的全口徑檢驗(yàn)。依據(jù)三級(jí)像差理論,推導(dǎo)了初始結(jié)構(gòu)參數(shù)計(jì)算公式,介紹了檢驗(yàn)光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方法;對(duì)口徑為240.6220mm、相對(duì)孔徑為0.48的凸扁球面光學(xué)檢驗(yàn)系統(tǒng)進(jìn)行了模擬設(shè)計(jì)。系統(tǒng)優(yōu)化后的殘余波像差峰谷（PV）值為0.00025λ,均方根（RMS）值為0.0001λ（λ=632.820nm）。將該方法用于工程項(xiàng)目中口徑為28720mm、相對(duì)孔徑為0.74的凸雙曲面反射鏡檢驗(yàn)中,測(cè)得鏡面RMS為0.021λ,驗(yàn)證了該方法的可行性。最后對(duì)該方法的適用性以及像差校正能力進(jìn)行分析。研究結(jié)果表明:該方法可以實(shí)現(xiàn)任意偏心率凸非球面的全口徑檢驗(yàn),在大口徑、大相對(duì)孔徑凸非球面全口徑檢驗(yàn)時(shí)具有較大優(yōu)勢(shì)。 

【文章來(lái)源】：光學(xué)學(xué)報(bào). 2020,40(08)北大核心EICSCD

【文章頁(yè)數(shù)】：7 頁(yè)

【文章目錄】：
1 引 言
2 自準(zhǔn)校正單透鏡檢驗(yàn)凸非球面的原理和光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)方法
    2.1 基本原理
    2.2 光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)方法
        2.2.1 三級(jí)像差理論
        2.2.2 系統(tǒng)初始結(jié)構(gòu)求解
            1) 各面之間的規(guī)化間距
            2) 待檢凸非球面結(jié)構(gòu)參數(shù)
            3) 自準(zhǔn)校正透鏡結(jié)構(gòu)參數(shù)
        2.2.3 光學(xué)系統(tǒng)實(shí)際尺寸求解
3 自準(zhǔn)校正單透鏡檢驗(yàn)凸非球面的方法分析
    3.1 對(duì)該檢驗(yàn)方法適用性的分析
    3.2 對(duì)不同相對(duì)孔徑凸非球面的像差校正情況的分析
    3.3 對(duì)不同偏心率的凸非球面的像差校正情況的分析
4 模擬設(shè)計(jì)及公差分析
    4.1 模擬設(shè)計(jì)
    4.2 公差分析
5 自準(zhǔn)校正單透鏡檢驗(yàn)凸非球面方法的實(shí)際應(yīng)用
6 結(jié) 論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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