靜電驅(qū)動(dòng)下振梁微陀螺儀的性能分析
發(fā)布時(shí)間:2021-04-30 05:26
研究了一種末端帶有檢測(cè)質(zhì)量塊的單軸靜電懸臂梁式微陀螺儀。檢測(cè)質(zhì)量塊受到兩個(gè)固定電極的耦合作用,這兩個(gè)電極均連接直流電壓以使質(zhì)量塊產(chǎn)生較大的靜態(tài)變形。在驅(qū)動(dòng)方向上的電極還受到交流電壓的作用,驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊產(chǎn)生主振動(dòng)。當(dāng)有旋轉(zhuǎn)發(fā)生時(shí),在垂直于主振動(dòng)的敏感方向上質(zhì)量塊會(huì)受到科氏力而產(chǎn)生1個(gè)二次振動(dòng),通過(guò)測(cè)得二次振動(dòng)的幅值大小便可以測(cè)得角速度。首先,依據(jù)Hamilton原理建立了振梁微陀螺儀的控制方程,研究了旋轉(zhuǎn)懸臂梁的兩個(gè)橫向耦合振動(dòng)。其次,分析了多種參數(shù)對(duì)微陀螺儀靜態(tài)變形的影響,并求得了系統(tǒng)前2階固有頻率。研究發(fā)現(xiàn)不同參數(shù)對(duì)系統(tǒng)固有頻率的影響規(guī)律,并討論了系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)和敏感方向上的動(dòng)力學(xué)放大效應(yīng)及其校正曲線。
【文章來(lái)源】:振動(dòng)工程學(xué)報(bào). 2020,33(04)北大核心EICSCD
【文章頁(yè)數(shù)】:8 頁(yè)
【文章目錄】:
引言
1 微陀螺儀建模
2 靜態(tài)分析
3 動(dòng)態(tài)分析
3.1 固有頻率
3.2 動(dòng)力學(xué)響應(yīng)
3.3 校正曲線
4 結(jié)論
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]The oscillatory behavior, static and dynamic analyses of a micro/nano gyroscope considering geometric nonlinearities and intermolecular forces[J]. M.Mojahedi,M.T.Ahmadian,K.Firoozbakhsh. Acta Mechanica Sinica. 2013(06)
本文編號(hào):3168925
【文章來(lái)源】:振動(dòng)工程學(xué)報(bào). 2020,33(04)北大核心EICSCD
【文章頁(yè)數(shù)】:8 頁(yè)
【文章目錄】:
引言
1 微陀螺儀建模
2 靜態(tài)分析
3 動(dòng)態(tài)分析
3.1 固有頻率
3.2 動(dòng)力學(xué)響應(yīng)
3.3 校正曲線
4 結(jié)論
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]The oscillatory behavior, static and dynamic analyses of a micro/nano gyroscope considering geometric nonlinearities and intermolecular forces[J]. M.Mojahedi,M.T.Ahmadian,K.Firoozbakhsh. Acta Mechanica Sinica. 2013(06)
本文編號(hào):3168925
本文鏈接:http://sikaile.net/kejilunwen/yiqiyibiao/3168925.html
最近更新
教材專著