發(fā)布時(shí)間：2021-04-29 07:40

　　近年來,高精度光學(xué)元件廣泛應(yīng)用于各種大型激光光學(xué)系統(tǒng)中。激光元器件的質(zhì)量直接影響著激光系統(tǒng)的性能提升。但限于加工工藝,光學(xué)元件無法避免地會(huì)產(chǎn)生缺陷,從而影響整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的運(yùn)作。因此,對光學(xué)元件缺陷檢測的要求逐步提高。現(xiàn)有的光學(xué)元件缺陷檢測手段各有不足,需要開發(fā)更精確的檢測手段。光腔衰蕩技術(shù)可以做到精準(zhǔn)測量超高反射率,利用該技術(shù)得到的光學(xué)元件反射率分布圖,圖中數(shù)據(jù)本質(zhì)上是光斑與真實(shí)缺陷相卷積的結(jié)果,可以使用數(shù)學(xué)反卷積算法進(jìn)行修正,從而提高缺陷的檢測分辨率。因此,本文主要針對光學(xué)元件缺陷檢測分辨率及影響因素的理論展開研究,主要包括以下幾個(gè)方面:（1）從光腔衰蕩和反卷積理論出發(fā),對提高光學(xué)元件缺陷檢測分辨率的方法進(jìn)行了研究,對比傳統(tǒng)的光學(xué)元件缺陷檢測方法,研究了基于光腔衰蕩掃描測量反射率分布圖的反卷積處理方法來提高缺陷檢測分辨率。（2）利用光腔衰蕩實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)測量了高反射激光元件,對高反元件的反射率進(jìn)行了一維及二維成像掃描,使用反卷積算法進(jìn)行處理,得到真實(shí)反射率分布圖。（3）編寫了基于MATLAB的反卷積程序,進(jìn)行仿真數(shù)值計(jì)算,從正反兩面驗(yàn)證了方法的正確性。通過分析,反卷積分析方法可以很好地對高... 

【文章來源】：電子科技大學(xué)四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：66 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
abstract
第一章 緒論
    1.1 研究工作背景與意義
        1.1.1 光學(xué)元件缺陷檢測技術(shù)的需求
        1.1.2 光學(xué)元件缺陷檢測技術(shù)的分類
            1.1.2.1 目視法
            1.1.2.2 濾波成像法
            1.1.2.3 散射能量分析法
            1.1.2.4 光學(xué)相干層析成像法
            1.1.2.5 機(jī)器視覺檢測技術(shù)
    1.2 國內(nèi)外研究現(xiàn)狀
        1.2.1 光腔衰蕩技術(shù)研究現(xiàn)狀
        1.2.2 反卷積技術(shù)研究現(xiàn)狀
    1.3 本論文的主要研究內(nèi)容
第二章 光學(xué)元件缺陷檢測理論
    2.1 基于時(shí)間衰減的光腔衰蕩掃描技術(shù)
    2.2 反卷積算法理論
        2.2.1 傅立葉變換反卷積算法
        2.2.2 維納濾波反卷積算法
        2.2.3 Van Cittert迭代反卷積算法
    2.3 本章小結(jié)
第三章 光學(xué)元件缺陷檢測仿真及實(shí)驗(yàn)結(jié)果計(jì)算
    3.1 正向卷積仿真計(jì)算
        3.1.1 一維計(jì)算
        3.1.2 二維計(jì)算
    3.2 反卷積仿真計(jì)算
        3.2.1 一維反卷積仿真計(jì)算
            3.2.1.1 理想狀態(tài)
            3.2.1.2 含噪聲狀態(tài)
        3.2.2 二維反卷積仿真計(jì)算
            3.2.2.1 理想狀態(tài)
            3.2.2.2 含噪聲狀態(tài)
    3.3 實(shí)驗(yàn)所得數(shù)據(jù)計(jì)算
        3.3.1 一維結(jié)果計(jì)算
        3.3.2 二維結(jié)果計(jì)算
    3.4 本章小結(jié)
第四章 光學(xué)元件缺陷檢測分辨率的影響研究
    4.1 改變光斑尺寸的影響
        4.1.1 改變光斑尺寸對分辨率影響的仿真計(jì)算
        4.1.2 改變光斑尺寸對實(shí)際數(shù)據(jù)反卷積的影響
            4.1.2.1 一維計(jì)算
            4.1.2.2 二維計(jì)算
    4.2 固定光斑尺寸對不同反射率的分辨率分析
    4.3 改變掃描步長對光學(xué)元件缺陷檢測的影響
    4.4 本章小結(jié)
第五章 總結(jié)與展望
    5.1 全文總結(jié)
    5.2 后續(xù)工作展望
致謝
參考文獻(xiàn)
攻讀碩士學(xué)位期間取得的成果


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]結(jié)合反卷積的CT圖像超分辨重建網(wǎng)絡(luò)[J]. 徐軍,劉慧,郭強(qiáng),張彩明.  計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)與圖形學(xué)學(xué)報(bào). 2018(11)
[2]衰蕩光腔溫度控制研究[J]. 曹珂,梁超群,郭瑞民,張桂春,邢素霞,趙玉祥.  計(jì)量學(xué)報(bào). 2018(03)
[3]光學(xué)元件表面缺陷檢測方法研究現(xiàn)狀[J]. 向弋川,林有希,任志英.  光學(xué)儀器. 2018(01)
[4]基于深度反卷積神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的圖像超分辨率算法[J]. 彭亞麗,張魯,張鈺,劉侍剛,郭敏.  軟件學(xué)報(bào). 2018(04)
[5]基于數(shù)字圖像的光學(xué)元件表面缺陷檢測[J]. 王蘭,呂昊.  激光雜志. 2017(01)
[6]基于偽隨機(jī)序列的維納濾波反卷積算法的改進(jìn)[J]. 甄曉丹,郝凱學(xué),李梅.  電子設(shè)計(jì)工程. 2016(24)
[7]光學(xué)元件表面缺陷相對位置分布對近場光束質(zhì)量的影響[J]. 尤科偉,張艷麗,張雪潔,張軍勇,朱健強(qiáng).  中國激光. 2015(03)
[8]基于光譜采樣率的反卷積算法分析[J]. 劉衛(wèi)靜,李斌成,韓艷玲,曲哲超.  激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2012(04)
[9]光腔衰蕩高反射率測量技術(shù)綜述[J]. 李斌成,龔元.  激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2010(02)
[10]腔長變化對連續(xù)波腔衰蕩技術(shù)測量的影響[J]. 譚中奇,龍興武.  激光技術(shù). 2007(04)

博士論文
[1]光反饋光腔衰蕩技術(shù)理論與應(yīng)用研究[D]. 崔浩.電子科技大學(xué) 2017

碩士論文
[1]散射掃描法光學(xué)元件表面疵病檢測技術(shù)研究[D]. 張彬.西安工業(yè)大學(xué) 2014



本文編號：3167130