隨著超精密光學(xué)系統(tǒng)越來越廣泛的應(yīng)用于科學(xué)、軍事以及日常生活中,對于系統(tǒng)中大量使用的熔石英光學(xué)元件的質(zhì)量要求也越來越高。如何對于熔石英光學(xué)元件的亞表面以及體內(nèi)缺陷進行高精度定量的自動化檢測是光學(xué)制造領(lǐng)域中的一大難題。本文對于熔石英光學(xué)元件中亞表面、體缺陷檢測技術(shù)進行了研究,對于其中的關(guān)鍵難點進行了分析,并通過仿真與實驗相結(jié)合的手段對本文主要研究成果的有效性進行了測試。熔石英光學(xué)元件的亞表面缺陷檢測方面,探討了應(yīng)用激光共聚焦顯微鏡對元件亞表面缺陷進行高精度檢測的基本原理,提出了多視場層析圖像的拼接算法,分析了亞表面缺陷的信息提取問題,并在此基礎(chǔ)上研究了其中關(guān)鍵的三維重建算法。而后建立了熔石英光學(xué)元件體缺陷的檢測系統(tǒng),基于實際的體缺陷數(shù)據(jù),提出了離焦缺陷區(qū)域剔除算法,對于海量數(shù)據(jù)下的圖像壓縮與三維重建技術(shù)進行了研究。最后通過實驗,對于亞表面缺陷檢測中的圖像拼接算法與三維重建技術(shù)的準確性進行了驗證。測試了體缺陷檢測中的離焦剔除與海量數(shù)據(jù)處理算法的性能。實驗結(jié)果證明了本文提出算法的有效性,主要研究成果已應(yīng)用于實際的檢測系統(tǒng)中。 

【文章來源】：浙江大學(xué)浙江省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：82 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【文章目錄】：
致謝
摘要
ABSTRACT
1 緒論
    1.1 研究背景及意義
    1.2 熔石英光學(xué)元件缺陷檢測技術(shù)研究現(xiàn)狀
        1.2.1 光學(xué)元件表面缺陷檢測研究現(xiàn)狀
        1.2.2 光學(xué)元件亞表面缺陷檢測研究現(xiàn)狀
        1.2.3 光學(xué)元件體缺陷檢測研究現(xiàn)狀
    1.3 熔石英光學(xué)元件亞表面/體缺陷檢測的關(guān)鍵難點
    1.4 本文的主要研究內(nèi)容
2 熔石英光學(xué)元件亞表面缺陷與體缺陷檢測系統(tǒng)
    2.1 熔石英光學(xué)元件亞表面缺陷檢測系統(tǒng)
        2.1.1 熔石英光學(xué)元件亞表面缺陷的成因及形式
        2.1.2 熔石英光學(xué)元件亞表面缺陷檢測的基本原理
        2.1.3 熔石英光學(xué)元件亞表面缺陷檢測的兩種模式
        2.1.4 應(yīng)用激光共聚焦顯微鏡進行件亞表面缺陷檢測的流程
        2.1.5 亞表面缺陷檢測系統(tǒng)中的關(guān)鍵難點
    2.2 熔石英光學(xué)元件體缺陷檢測系統(tǒng)
        2.2.1 體缺陷檢測系統(tǒng)的基本原理
        2.2.2 熔石英光學(xué)元件體缺陷的檢測流程
        2.2.3 體缺陷檢測系統(tǒng)中的關(guān)鍵技術(shù)難點
    2.3 本章小結(jié)
3 熔石英光學(xué)元件亞表面缺陷檢測三維圖像處理技術(shù)
    3.1 亞表面缺陷圖像拼接
        3.1.1 亞表面缺陷檢測的多視場層析掃描
        3.1.2 縱向誤差矯正算法
    3.2 亞表面缺陷圖像處理技術(shù)研究
        3.2.1 亞表面缺陷圖像的缺陷增強與背景均勻化技術(shù)
        3.2.2 熒光亞表面缺陷圖像的聚合算法
    3.3 亞表面缺陷三維重建算法
        3.3.1 Marching Cubes算法基本原理
        3.3.2 基于八叉樹算法改進的Marching Cubes算法
    3.4 本章小結(jié)
4 熔石英光學(xué)元件體缺陷檢測關(guān)鍵技術(shù)
    4.1 體缺陷圖像離焦區(qū)域篩選剔除技術(shù)
        4.1.1 體缺陷離焦與對焦區(qū)域特征分析方法
        4.1.2 體缺陷圖像離焦區(qū)域的分割算法
    4.2 熔石英光學(xué)元件體缺陷三維重建
        4.2.1 體缺陷海量圖像數(shù)據(jù)的壓縮
        4.2.2 體缺陷海量數(shù)據(jù)的三維重建
    4.3 本章小結(jié)
5 熔石英光學(xué)元件亞表面/體缺陷檢測實驗
    5.1 熔石英光學(xué)元件亞表面缺陷檢測實驗
        5.1.1 亞表面缺陷檢測實驗
        5.1.2 亞表面缺陷三維圖像拼接實驗
        5.1.3 三維重建算法對比實驗
    5.2 熔石英光學(xué)元件體缺陷檢測實驗
        5.2.1 體缺陷圖像離焦剔除實驗
        5.2.2 體缺陷海量數(shù)據(jù)三維重建實驗
    5.3 本章小結(jié)
6 總結(jié)與展望
    6.1 本文工作總結(jié)
    6.2 未來工作展望
參考文獻
作者簡歷



本文編號：3162487