高精度微球型鎢探針制備技術(shù)
發(fā)布時間：2021-04-07 11:36
目前主要利用微納米三坐標(biāo)測量機對具有高深寬/徑比的微型器件進(jìn)行高精度測量。而微球型探針作為微納米三坐標(biāo)測量機的核心部件,其加工尺寸和加工精度直接決定了微納米三坐標(biāo)測量機的性能。因此有必要研制出高精度、微小尺寸的一體化微球型探針,本文主要做了如下幾項工作。1、對微球型探針制造工藝進(jìn)行了總結(jié),設(shè)計并搭建了基于電弧放電和液體表面張力原理制備微球形鎢探針的實驗裝置。2、研究了電弧放電在氬氣和空氣中的不同特征,并初步找到在氬氣環(huán)境中對鎢絲進(jìn)行錐化處理和制備微球型鎢探針的合適參數(shù)。3、研究了空氣中不同放電參數(shù)如電壓、通電時間、脈沖寬度、頻率、電極間距對微球型鎢探針幾何特征的影響。本文以測球的直徑、圓度、偏距離和成功率作為衡量鎢探針質(zhì)量制備好壞的標(biāo)準(zhǔn),最后得到了各單變量參數(shù)的最優(yōu)區(qū)間。4、在單變量影響實驗的基礎(chǔ)上,引入科學(xué)實驗計劃法-----田口法,以測球直徑、圓度和偏心距離作為評估制造過程的輸出響應(yīng),以望小特性來分析,以探討各影響因子對測球特性的影響,并尋求最優(yōu)化的控制參數(shù)組合,研制出了直徑為79μm,圓度為0.25μm,偏心距離為0.5μm的一體化微球型鎢測針。5、對測球的成型機理進(jìn)行了初步探討...
【文章來源】：合肥工業(yè)大學(xué)安徽省 211工程院校 教育部直屬院校
【文章頁數(shù)】：73 頁
【學(xué)位級別】：碩士
【部分圖文】：
精密計量加工技術(shù)發(fā)展圖
圖 1.2 Nano-CMM 的概念Fig 1.2 Concept of the Nano-CMM米三坐標(biāo)測量機的概念首先是由日本東京大學(xué)的 Takamasu 量微孔和槽的尺寸。根據(jù)定義，微/納米三坐標(biāo)測量機的規(guī)/100 至 1/1000[5]，圖 1.2 說明了微/納米三坐標(biāo)測量機的概念米三坐標(biāo)測量機的設(shè)計概念。微/納米三坐標(biāo)測量機的精度精度。因此，為了實現(xiàn)微/納三坐標(biāo)測量機高精度計量，探的測球。探頭的核心傳感元件包括測球和測桿，如圖 1.3 性能在很大程度上取決于測球的參數(shù)，如球度，直徑和材直徑，小圓度和小偏心距離的測球，在提高微/納米三坐標(biāo)重要的作用。表 1.1 Nano-CMM 技術(shù)參數(shù)Tab 1.1 Technical parameters of the Nano-CMM指標(biāo) 傳統(tǒng)三坐標(biāo)測量機 納米三坐標(biāo)測量儀器體積 (2000 mm)3(200 mm)3
圖 1.3 傳統(tǒng)測頭的結(jié)構(gòu)圖Fig 1.3 Schematic of a traditional prob標(biāo)測量機探頭研究動態(tài)或研究機構(gòu)都在研究微納米接觸下幾種分類：電容式探頭、壓阻和共振式探頭等幾類。（National Physical Laboratory，M），這款三坐標(biāo)測量機的的探鎢管、鈹青銅片和直徑為 3 mm，后每三個相同的構(gòu)件按照 120°分m，測球直徑 1 mm、量程±20
【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]Ball Tips of Micro/Nano Probing Systems:A Review[J]. Ruijun LI,Chen CHEN,Dandong LI,Kuang-Chao FAN,Zhenying CHENG,Qiangxian HUANG,Xueming DANG. Chinese Journal of Mechanical Engineering. 2017(02)
[2]Multi-objective Optimal Design of High Frequency Probe for Scanning Ion Conductance Microscopy[J]. GUO Renfei,ZHUANG Jian,MA Li,LI Fei,YU Dehong. Chinese Journal of Mechanical Engineering. 2016(01)
[3]微細(xì)球狀電極制備研究[J]. 孟冬,李寒松,曾永彬,劉勇. 機械工程學(xué)報. 2011(15)
[4]氬氣介質(zhì)阻擋放電不同放電模式的電學(xué)特性研究[J]. 董麗芳,毛志國,冉俊霞. 物理學(xué)報. 2005(07)
[5]鎢極氬弧焊焊接電弧數(shù)值分析[J]. 蘆鳳桂,姚舜,錢偉方. 上海交通大學(xué)學(xué)報. 2003(12)
博士論文
[1]納米三坐標(biāo)測量機機械結(jié)構(gòu)及接觸式測頭技術(shù)研究[D]. 王偉麗.合肥工業(yè)大學(xué) 2008
本文編號：3123420
【文章來源】：合肥工業(yè)大學(xué)安徽省 211工程院校 教育部直屬院校
【文章頁數(shù)】：73 頁
【學(xué)位級別】：碩士
【部分圖文】：
精密計量加工技術(shù)發(fā)展圖
圖 1.2 Nano-CMM 的概念Fig 1.2 Concept of the Nano-CMM米三坐標(biāo)測量機的概念首先是由日本東京大學(xué)的 Takamasu 量微孔和槽的尺寸。根據(jù)定義，微/納米三坐標(biāo)測量機的規(guī)/100 至 1/1000[5]，圖 1.2 說明了微/納米三坐標(biāo)測量機的概念米三坐標(biāo)測量機的設(shè)計概念。微/納米三坐標(biāo)測量機的精度精度。因此，為了實現(xiàn)微/納三坐標(biāo)測量機高精度計量，探的測球。探頭的核心傳感元件包括測球和測桿，如圖 1.3 性能在很大程度上取決于測球的參數(shù)，如球度，直徑和材直徑，小圓度和小偏心距離的測球，在提高微/納米三坐標(biāo)重要的作用。表 1.1 Nano-CMM 技術(shù)參數(shù)Tab 1.1 Technical parameters of the Nano-CMM指標(biāo) 傳統(tǒng)三坐標(biāo)測量機 納米三坐標(biāo)測量儀器體積 (2000 mm)3(200 mm)3
圖 1.3 傳統(tǒng)測頭的結(jié)構(gòu)圖Fig 1.3 Schematic of a traditional prob標(biāo)測量機探頭研究動態(tài)或研究機構(gòu)都在研究微納米接觸下幾種分類：電容式探頭、壓阻和共振式探頭等幾類。（National Physical Laboratory，M），這款三坐標(biāo)測量機的的探鎢管、鈹青銅片和直徑為 3 mm，后每三個相同的構(gòu)件按照 120°分m，測球直徑 1 mm、量程±20
【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]Ball Tips of Micro/Nano Probing Systems:A Review[J]. Ruijun LI,Chen CHEN,Dandong LI,Kuang-Chao FAN,Zhenying CHENG,Qiangxian HUANG,Xueming DANG. Chinese Journal of Mechanical Engineering. 2017(02)
[2]Multi-objective Optimal Design of High Frequency Probe for Scanning Ion Conductance Microscopy[J]. GUO Renfei,ZHUANG Jian,MA Li,LI Fei,YU Dehong. Chinese Journal of Mechanical Engineering. 2016(01)
[3]微細(xì)球狀電極制備研究[J]. 孟冬,李寒松,曾永彬,劉勇. 機械工程學(xué)報. 2011(15)
[4]氬氣介質(zhì)阻擋放電不同放電模式的電學(xué)特性研究[J]. 董麗芳,毛志國,冉俊霞. 物理學(xué)報. 2005(07)
[5]鎢極氬弧焊焊接電弧數(shù)值分析[J]. 蘆鳳桂,姚舜,錢偉方. 上海交通大學(xué)學(xué)報. 2003(12)
博士論文
[1]納米三坐標(biāo)測量機機械結(jié)構(gòu)及接觸式測頭技術(shù)研究[D]. 王偉麗.合肥工業(yè)大學(xué) 2008
本文編號：3123420
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