微機電系統(tǒng)發(fā)展的一大趨勢是與光學(xué)相結(jié)合形成微光機電系統(tǒng),而微光機電系統(tǒng)的發(fā)展離不開微小光學(xué)的支撐。微透鏡陣列作為微小光學(xué)元件的重要組成部分在成像、傳感、點光源器件和光學(xué)互聯(lián)等方面已經(jīng)變得不可或缺。PDMS基磁流變彈性體薄膜是將納米磁性顆�；烊隤DMS基體中并采用特殊的方法制作成的一種具有微米級厚度的光學(xué)薄膜。本課題組已經(jīng)制備并測試過這種薄膜其結(jié)果表明在外磁場的作用下該薄膜的光學(xué)特性將會發(fā)生改變�；谶@樣的結(jié)果本論文首先創(chuàng)新地設(shè)計兩種PDMS微透鏡陣列并進行了制造和表征測試,然后將已有PDMS微透鏡陣列的制造方法結(jié)合PDMS基磁流變彈性體光學(xué)薄膜創(chuàng)新性地設(shè)計出PDMS基磁響應(yīng)微透鏡陣列。首先是PDMS薄膜微透鏡陣列,其主要原理是利用機械撓曲將平面薄膜變成微透鏡陣列結(jié)構(gòu)。理論上分析了凹槽擠壓薄膜模型并用ANSYS仿真得出薄膜截面的變形圖。設(shè)計了PDMS薄膜微透鏡陣列的制作方法,利用了SU-8厚膠光刻技術(shù)和旋涂工藝等手段制得PDMS薄膜微透鏡陣列。對制備的樣品進行了幾何表征和光學(xué)性能測試得到了很好的測試結(jié)果。然后本文將介紹一種新穎的制造微透鏡陣列的方法。我們創(chuàng)新地利用了液相與微結(jié)構(gòu)表面接觸時... 

【文章來源】：電子科技大學(xué)四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：102 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

微液滴噴射制作微透鏡的原理示意圖

熱模壓印過程的結(jié)構(gòu)示意圖

傳統(tǒng)MRE的制作流程

【參考文獻】：
期刊論文
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[4]微結(jié)構(gòu)表面Cassie/Wenzel潤濕模式轉(zhuǎn)換機制研究[J]. 李小兵.  潤滑與密封. 2013(11)
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碩士論文
[1]PDMS基磁響應(yīng)薄膜的制備、表征及應(yīng)用研究[D]. 孫江濤.電子科技大學(xué) 2017



本文編號：3081093