傳統(tǒng)的壓電致動器,受限于壓電致動的小行程,通常只能測量較小的范圍。研發(fā)了一種電磁輔助壓電致動器,同時(shí)具備電磁式致動器長行程與壓電式致動器高分辨率的特點(diǎn),該致動器包含可動件、導(dǎo)引槽、撓性件、電磁鐵、壓電元件以及控制電路。首先調(diào)整撓性可調(diào)預(yù)壓裝置并設(shè)定電磁鐵電流,使得電磁致動力處于最大靜摩擦力與動摩擦力之間;再利用壓電組件所產(chǎn)生的微震動,控制可動件與導(dǎo)引槽之間的接觸情況在靜摩擦與動摩擦之間切換,從而完成長行程（10 mm）且高分辨率（1.5μm）的往復(fù)運(yùn)動。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明該致動器具備出色的定位能力。 

【文章來源】：計(jì)量學(xué)報(bào). 2020,41(07)北大核心

【文章頁數(shù)】：7 頁

【文章目錄】：
1 引言
2 致動器原理
    2.1 致動器設(shè)計(jì)
    2.2 系統(tǒng)設(shè)計(jì)
        2.2.1 數(shù)據(jù)采集
        2.2.2 激光位移傳感器
3 實(shí)驗(yàn)分析
    3.1 調(diào)整輸入方波的頻率、脈沖寬度測試
    3.2 速度測試
    3.3 定位控制測試
    3.4 共振頻率測試
    3.5 拉力測試
4 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號：3057350